ساخت میکروحسگر نیروسنج پیزومقاومی با دیسک فشرده

  • سال انتشار: 1397
  • محل انتشار: بیست و ششمین همایش سالانه بین­ المللی انجمن مهندسان مکانیک ایران
  • کد COI اختصاصی: ISME26_206
  • زبان مقاله: فارسی
  • تعداد مشاهده: 390
دانلود فایل این مقاله

نویسندگان

پیام حیدری

تهران رودهن ، دانشگاه آزاد اسلامی واحد رودهن، دانشکده فنی و مهندسی

سیدمهدی مرعشی

تهران رودهن ، دانشگاه آزاد اسلامی واحد رودهن، دانشکده فنی و مهندسی

چکیده

در این مقاله با بهره گیری از تکنولوژی میکروساخت یک حسگر نیرو با استفاده از لایه فلزی موجود در لوح فشرده که به جهت ذخیره اطلاعات دیجیتالی میباشد تولید و ارایه شده است. جهت تولید این حسگر از روش لیتوگرافی و برش لیزر دقیق بهره گرفته شده است. به کمک این روش امکان تولید میکروالکترودها با حداقل ابعاد زیر 100 میکرومتر فراهم می شود، به دلیل وجود زیر لایه انعطاف پذیر و نازک با ض خامت 600 میکرومتر از جنس پلی اتیلن ترفتالات که در دیسک های فشرده استفاده می شود امکان جابجایی و ایجاد تنش در آن با وجود نیروهای کوچک امکان پذیر می شود. به این ترتیب صرفا با استفاده از زیر لایه پلیمری و لایه فلزی موجود در دیسک های فشرده یک میکرو حسگر نیرو بدیع در این مقاله ارایه شده است. این حسگر بسیار ارزان و به کمک تکنولوژی قابل دسترس بدون نیاز به اتاق تمیز و تجهیزات گران قیمت لایه نشانی تولید شده است که دارای ضریب تبدیل برابر با Q / N 390 می باشد.

کلیدواژه ها

نیروسنج، سیستم میکروالکترومکانیکی، لوح فشرده

مقالات مرتبط جدید

اطلاعات بیشتر در مورد COI

COI مخفف عبارت CIVILICA Object Identifier به معنی شناسه سیویلیکا برای اسناد است. COI کدی است که مطابق محل انتشار، به مقالات کنفرانسها و ژورنالهای داخل کشور به هنگام نمایه سازی بر روی پایگاه استنادی سیویلیکا اختصاص می یابد.

کد COI به مفهوم کد ملی اسناد نمایه شده در سیویلیکا است و کدی یکتا و ثابت است و به همین دلیل همواره قابلیت استناد و پیگیری دارد.