بررسی اثر بکارگیری SiO2/Al در بالا بردن حساسیت آشکار سازهای مادون قرمز بر پایه میکروکانتیلیور و مقایسه آن با Si3N4/Au
- سال انتشار: 1394
- محل انتشار: مجله مکانیک سازه ها و شاره ها، دوره: 5، شماره: 3
- کد COI اختصاصی: JR_JSFM-5-3_013
- زبان مقاله: فارسی
- تعداد مشاهده: 460
نویسندگان
استادیار برق الکترونیک، دانشکده برق، دانشگاه علوم و فنون هوایی شهید ستاری
دانشجوی دکتری برق الکترونیک، دانشگاه صنعتی مالک اشتر
کارشناس ارشد برق الکترونیک، دانش آموخته دانشگاه صنعتی مالک اشتر
چکیده
در این مقاله، آشکارساز مادون قرمز میکروکانتیلیور با حساسیت بالا و بدون نیاز به خنک ساز، طراحی و شبیه سازی شده است. این آشکارساز شامل، ناحیه جاذب، نواحی دو ماده ای و ایزوله و ستون ھای نگھدارنده است. ساختار آن معلق و به صورت دو لایه ای از جنس دی اکسید سیلیکون (SiO2) به ضخامت 1μm و آلومینیوم (Al) به ضخامت 200nm است. در این آشکارساز، میزان جذب IR و میزان خمش با طراحی ناحیه جاذب به صورت دو ماده ای افزایش یافته است. میزان جذب IR با آیینه شدن امواج مادون قرمز توسط لایه فلزی افزایش و میزان خمش با امتداد ناحیه دو ماده ای تا انتھای ناحیه جاذب بیشتر شده است. برای شبیه سازی رفتار حرارتی و مکانیکی، از روش آنالیز اجزاء محدود استفاده شده است. اندازه تغییر دما و تغییر جابجایی در نوک آشکارساز (دورترین نقطه نسبت به پایه ھا) به ترتیب ΔT=3/651°C و ΔZ=940nm شده است. نتایج حاصل از شبیه سازی با اعمال شرایط مرزی به ازای شار حرارتی ثابت 100pW/μm2 روی ناحیه جاذب می باشند. در این آشکارساز، ضریب انتقال دما، حساسیت ترمومکانیکی، حساسیت توانی، حساسیت دمایی، حساسیت جابجایی و حساسیت به دمای جسم به ترتیب 3-10×9/7 و 0/284nm/K و 667/2mW-1 و 32/8mK/(pW.μm-2) و 9/34nm/(pW.μm-2) و 2/75nm/K محاسبه شدند. این پارامترها نسبت به آشکارساز مشابه از جنس Si3N4/Au به ترتیب 16 و 41 و 17 و 41 و 41 و 2/38 برابر بهبود یافته است.کلیدواژه ها
میکرو ماشین کاری، آشکارساز مادون قرمز فاقد خنک ساز، آشکارساز حرارتی، میکروکانتیلیورمقالات مرتبط جدید
- اصول طراحی مفهومی پس سوز یک موتور توربوفن سنگین
- مطالعه تجربی و عددی توزیع ضخامت در فرم دهی افزایشی تک نقطه ای یک جسم مخروطی
- پیشبینی و بررسی ویژگیهای آیرودینامیکی پرتابه ای چرخان با استفاده از دینامیک سیالات محاسباتی
- تحلیل عددی کنترل جریان آشفته حول استوانه با استفاده از دو استوانه ی کنترلی دیگر
- مطالعه عددی اثر جایگزینی نیتروژن با دی اکسید کربن بر احتراق موتور دیزل
اطلاعات بیشتر در مورد COI
COI مخفف عبارت CIVILICA Object Identifier به معنی شناسه سیویلیکا برای اسناد است. COI کدی است که مطابق محل انتشار، به مقالات کنفرانسها و ژورنالهای داخل کشور به هنگام نمایه سازی بر روی پایگاه استنادی سیویلیکا اختصاص می یابد.
کد COI به مفهوم کد ملی اسناد نمایه شده در سیویلیکا است و کدی یکتا و ثابت است و به همین دلیل همواره قابلیت استناد و پیگیری دارد.