رزوناتور حلقوی پیزوالکتریک و کاربردهای آن در ژیروسکوپ های میکروالکترومکانیکی

  • سال انتشار: 1397
  • محل انتشار: دومین کنفرانس زیرساخت های انرژی،مهندسی برق و نانو فناوری
  • کد COI اختصاصی: IRCIVILC02_029
  • زبان مقاله: فارسی
  • تعداد مشاهده: 872
دانلود فایل این مقاله

نویسندگان

کامران کشاورزدیوکلایی

دانشجوی دکتری نانوالکترونیک - انستیتو رادیوالکترونیک، الکترونیک و اتوماسیون مسکو (دانشگاه فنی)

چکیده

در تحقیق حاضر، رفتار هارمونیک و فرکانسی رزوناتور حلقوی ژیروسکوپ های MEMS بر پایه مکانیزم تحریک پیزوالکتریک به کمک نرم افزار CoventorWare مورد تحلیل قرار گرفته اند. در همین راستا شبیه سازی بر روی نمونه های نیترید آلومینیونم (AIN) و تیتانات زیرکونات سرب (PZT) با ساختار پروسکایت صورت پذیرفت. در این روش از مدلسازی المان محدود برای بدست آوردن پاسخ فرکانسی و میزان جابجایی دو نمونه استفاده شد.

کلیدواژه ها

؛PZT, AIN، ژیروسکوپ MEMS، تحریک پیزوالکتریک

مقالات مرتبط جدید

اطلاعات بیشتر در مورد COI

COI مخفف عبارت CIVILICA Object Identifier به معنی شناسه سیویلیکا برای اسناد است. COI کدی است که مطابق محل انتشار، به مقالات کنفرانسها و ژورنالهای داخل کشور به هنگام نمایه سازی بر روی پایگاه استنادی سیویلیکا اختصاص می یابد.

کد COI به مفهوم کد ملی اسناد نمایه شده در سیویلیکا است و کدی یکتا و ثابت است و به همین دلیل همواره قابلیت استناد و پیگیری دارد.