الگوریتم های پردازش سیگنال ماوراصوت برای تعیین خواص چندلایه ای های نازک

  • سال انتشار: 1396
  • محل انتشار: کنفرانس ملی فناوری های نوین در مهندسی برق و کامپیوتر
  • کد COI اختصاصی: PCCO01_264
  • زبان مقاله: فارسی
  • تعداد مشاهده: 569
دانلود فایل این مقاله

نویسندگان

صابر شربتی

استاد، دانشگاه هوایی شهید ستاری

امین اکبری

دانشجوی کارشناسی، دانشگاه هوایی شهید ستاری

میلاد جلیلیان

دانشجوی کارشناسی، دانشگاه هوایی شهید ستاری

قاسم عزیزی

دانشجوی کارشناسی، دانشگاه هوایی شهید ستاری

چکیده

کاربرد مواد چندلایه ای در دهه گذشته، به دلیل ویژگی های مهندسی عالی آنها، افزایش یافته است. در بسیاری از موارد، ضخامت لایه ها باید کاملا صحیح، اندازه گیری و کنترل شوند. به همین منظور روش های مختلفی برای اندازه گیری ضخامت چندلایه ای های نازک، گسترش یافته است. برخی از این روش ها عبارتند از: اشعه ایکس، میکروسکوپ نوری، القا مغناطیسی و جریان فوکو. اندازه گیری ضخامت بوسیله تکنیک زمان صعود ماوراصوت، در محیط های کنترل فرایند بطور گستردهای مورد استفاده قرار میگیرد.انتشار موج بین دو مرز لایه دارای یک تاخیر زمانی است که میتواند برای تخمین ضخامت لایه مورد استفاده قرار گیرد. بد بختانه، همین که ضخامت لایه کاهش می یابد، اکوی دوم بر روی قسمتی از اکوی اول قرار می گیرد

کلیدواژه ها

مقالات مرتبط جدید

اطلاعات بیشتر در مورد COI

COI مخفف عبارت CIVILICA Object Identifier به معنی شناسه سیویلیکا برای اسناد است. COI کدی است که مطابق محل انتشار، به مقالات کنفرانسها و ژورنالهای داخل کشور به هنگام نمایه سازی بر روی پایگاه استنادی سیویلیکا اختصاص می یابد.

کد COI به مفهوم کد ملی اسناد نمایه شده در سیویلیکا است و کدی یکتا و ثابت است و به همین دلیل همواره قابلیت استناد و پیگیری دارد.