یک سنسور میدان مغناطیسی تشدیدی با خروجی پیزوالکتریک مبتنی بر فناوری MEMS
- سال انتشار: 1396
- محل انتشار: دومین کنفرانس ملی رویکردهای نوین و کاربردی در مهندسی مکانیک
- کد COI اختصاصی: NAAME02_056
- زبان مقاله: فارسی
- تعداد مشاهده: 538
نویسندگان
دانشجوی کارشناسی ارشد گروه مهندسی برق واحد بندرعباس دانشگاه آزاد اسلامی بندرعباس ایران
استادیار دانشکده مهندسی برق واحد یادگار امام خمینی (ره)شهرری دانشگاه آزاد اسلامی تهران ایران
چکیده
در این مقاله یک میکروسنسور میدان مغناطیسی تشدیدی مبتنی بر فناوری سیستم های میکرو الکترومکانیکی با مکانیسم خروجی پیزوالکتریک طراحی و شبیه سازی شده است ساختار میکروسنسور شامل یک سازه تشدیدی متقارن بهصورت یک حلقه مستطیلی الاکلنگی به ابعاد μm450×700μm با باریکه هایی با ضخامت 5 μm است عملکرد میکروسنسور با استفاده از سه ماده متفاوت شامل سیلیکون و ژرمانیوم و گالیوم آرسناید مورد بررسی قرار گرفته است ساختار از جنس سیلیکون دارای فرکانس تشدید kHz 27/337 حساسیت 4/165 V/Tو2/78 V/Tو1/39 V/T به ترتیب برای جریان های Irms برابر با 30 mA و 20 mA و 10 mA بوده و ساختار از جنس ژرمانیوم دارای فرکانس تشدید kHz 16/148 حساسیت 4/985 V/T و V/T 3/325 و V/T1/66 به ترتیب برای جریانهای Irms برابر با 30mAو 20mA و 10 mA می باشد همچنین برای سازه طراحی شده از جنس گالیوم آرسناید فرکانس تشدید برابر با 14/867 kHz بوده و حساسیت آن V/T5/65 و V/T 3/76 و V/T1/88 به ترتیب برای جریان های Irmsبرابر با 30 mAو20 mAو 10mA به دست آمده است شبیه سازی میکرو سنسور پیشنهادی با بهره گیری از نرم افزار COMSOL Multiphysics انجام شده استکلیدواژه ها
سنسور میدان مغناطیسی،نیروی لورنتس،فرکانس تشدید،سیستم های میکرو الکترومکانیکی،MEMSمقالات مرتبط جدید
- توسعه مبدل حرارتی داخلی ( IHX ) از طریق تغییر فرآیند ساخت و تولید لوله های گاز کولر در صنعت خودروسازی
- بهبودعملکرد سیکل تبرید تراکمی با تغییر فرآیند ساخت مبدل SLHX از آرایش مماسی به هم مرکز
- بررسی تاثیر لایه میانی روی در اتصال غیر مشابه آلیاژ پایه منیزیم AZ۳۱ و آلومینیوم ۶۰۶۱ به روش جوشکاری اصطکاکی اغتشاشی نقطهای
- بررسی تجربی سوراخکاری کامپوزیتهای پلیمری: مقایسه جوت و شیشه
- سیستم هوشمند پایش وضعیت بلبرینگ با استفاده از طیفنگاره صوتی جهت طبقهبندی و تشخیص خطای بلبرینگ ها
اطلاعات بیشتر در مورد COI
COI مخفف عبارت CIVILICA Object Identifier به معنی شناسه سیویلیکا برای اسناد است. COI کدی است که مطابق محل انتشار، به مقالات کنفرانسها و ژورنالهای داخل کشور به هنگام نمایه سازی بر روی پایگاه استنادی سیویلیکا اختصاص می یابد.
کد COI به مفهوم کد ملی اسناد نمایه شده در سیویلیکا است و کدی یکتا و ثابت است و به همین دلیل همواره قابلیت استناد و پیگیری دارد.