بررسی ساختار سطح لایه های نازک اکسد ایندیوم قلع

سال انتشار: 1387
محل انتشار: چهارمین همایش ملی عملیات حرارتی
کد COI اختصاصی: NSHT04_007
زبان مقاله: فارسی
تعداد مشاهده: 1165

نویسندگان

استادیار دانشگاه بوعلی سینا همدان گروه فیزیک

چکیده

دراین تحقیق لایه های نازک اکسید ابندیوم قلع (ITO) با ضهامت 50nm به روش تبخیر با پرتو الکترونی بر روی بستره شیشه ای در دمای اتاق تهیه شده اند. لایه ها پس از انباشت در گستره دماهای 450-200 درچه سانتی گراد در مجاورت هوا به مدت یک ساعت حرارت داده شده اند. تاثیر حرارت دهی بر ساختار لایه ها و نیز مورفولوژی سطح لایه ها مورد بررسی قرار گرفته است. نتایج اندازه گیری های میکروسکوپ نیرو اتمی (AFM) تغییر ناهمواری سطوح لایه ها بر اثر حرارت دهی را نشان می دهند. نتایج حاصل از گرته های XRD نیز تغببر ساختار لایه های آمورف (بی شکل) به فاز بلوری را تایید می کنند. قله شدت بیشینه با جهت گیری ترجیهی صفحه (222) در زاویه 2ѳ=30.5 درجه اتفاق می افتد و سایر قله ها در صفحات (211)(400)(440) و (622) مشاهده شدند.

کلیدواژه ها

لایه نازک،حرارت دهی،اکسید ایندونیوم قلع

مقالات مرتبط جدید

اطلاعات بیشتر در مورد COI

COI مخفف عبارت CIVILICA Object Identifier به معنی شناسه سیویلیکا برای اسناد است. COI کدی است که مطابق محل انتشار، به مقالات کنفرانسها و ژورنالهای داخل کشور به هنگام نمایه سازی بر روی پایگاه استنادی سیویلیکا اختصاص می یابد.

کد COI به مفهوم کد ملی اسناد نمایه شده در سیویلیکا است و کدی یکتا و ثابت است و به همین دلیل همواره قابلیت استناد و پیگیری دارد.