Simulation of Bayard Alpert ionization vacuum gauge with COMSOL
- سال انتشار: 1396
- محل انتشار: پنجمین کنفرانس بین المللی مهندسی برق و کامپیوتر با تاکید بر دانش بومی
- کد COI اختصاصی: COMCONF05_537
- زبان مقاله: انگلیسی
- تعداد مشاهده: 524
نویسندگان
Department of Electronic Engineering, Faculty of Ghazi Tabatabai, Urmia Branch, Technical and vocational University (TVU), Tehran, Iran,
Faculty of Electrical and Computer Engineering, Urmia University, Urmia, Iran
چکیده
In this paper, the Bayard Alpert ionization vacuum gauge has been simulated using COMSOL. Employing Charged Particle Tracing (CPT) tool in COMSOL, the sensitivity coefficient of the gauge has been calculated from simulation results. Based on the results, the average measured value of sensitivity is 30, which shows compatibility with theoretical value of 28. It must be mentioned that a unique method is used in this article to calculate the sensitivity coefficient and the coefficient diagrams for sensitivity of different vacuum pressures have been obtained through these simulations. This paper also presents a method for obtaining electron velocity and energy and their diagramsکلیدواژه ها
ionization vacuum gauge, vacuum sensor, hot cathode ion gauge, Batard Alpert ion gaugeمقالات مرتبط جدید
اطلاعات بیشتر در مورد COI
COI مخفف عبارت CIVILICA Object Identifier به معنی شناسه سیویلیکا برای اسناد است. COI کدی است که مطابق محل انتشار، به مقالات کنفرانسها و ژورنالهای داخل کشور به هنگام نمایه سازی بر روی پایگاه استنادی سیویلیکا اختصاص می یابد.
کد COI به مفهوم کد ملی اسناد نمایه شده در سیویلیکا است و کدی یکتا و ثابت است و به همین دلیل همواره قابلیت استناد و پیگیری دارد.