Size Effect on the Deflection and Resonant Frequency of the Timoshenko Microbeam

  • سال انتشار: 1396
  • محل انتشار: پنجمین کنفرانس بین المللی مهندسی برق و کامپیوتر با تاکید بر دانش بومی
  • کد COI اختصاصی: COMCONF05_441
  • زبان مقاله: انگلیسی
  • تعداد مشاهده: 476
دانلود فایل این مقاله

نویسندگان

Mohammad Tahmasebipour

Faculty of New Sciences and Technologies, University of Tehran, Tehran, Iran , Micro/Nano-Manufacturing Technologies Development Laboratory, Faculty of New sciences & Technologies,University of Tehran, Tehran, Iran

Mehrzad Modarres

Faculty of New Sciences and Technologies, University of Tehran, Tehran, Iran , Micro/Nano-Manufacturing Technologies Development Laboratory, Faculty of New sciences & Technologies,University of Tehran, Tehran, Iran

Hossein Salarpour

Faculty of New Sciences and Technologies, University of Tehran, Tehran, Iran , Micro/Nano-Manufacturing Technologies Development Laboratory, Faculty of New sciences & Technologies,University of Tehran, Tehran, Iran

چکیده

Microbeams are components used in the manufacture of microelectromechanical systems (MEMS). Epoxy microbeams have found various applications in microactuators and microsensors. This study aims to use the finite element method for the static and dynamic analysis of the Timoshenko microbeam. To this end, upon applying the initial and boundary conditions governing the studied microbeams, the effects of size on the deflection and natural frequency RI WKH EHDPV ZHUH HYDOXDWHG DW GLIIHUHQW 3RLVVRQʼV UDWLRV. ,W ZDV REVHUYHG WKDW EHDP GHIOHFWLRQ DQd resonance frequency decreased with increasing the microbeam thickness. A good agreement was observed between the results obtained from this study and those obtained using the couple stress theory, the classical theory, and the strain gradient elasticity theory.

کلیدواژه ها

micro-electro-mechanical systems (MEMS), microbeam, size effect, finite element method, modeling

مقالات مرتبط جدید

اطلاعات بیشتر در مورد COI

COI مخفف عبارت CIVILICA Object Identifier به معنی شناسه سیویلیکا برای اسناد است. COI کدی است که مطابق محل انتشار، به مقالات کنفرانسها و ژورنالهای داخل کشور به هنگام نمایه سازی بر روی پایگاه استنادی سیویلیکا اختصاص می یابد.

کد COI به مفهوم کد ملی اسناد نمایه شده در سیویلیکا است و کدی یکتا و ثابت است و به همین دلیل همواره قابلیت استناد و پیگیری دارد.