مهران قلی پور شهرکی - دانشکده علوم پایه دانشگاه اراک
سعید قربانعلی - دانشکده علوم پایه دانشگاه اراک
سیدروح ا... معصومی - دانشکده علوم پایه دانشگاه اراک
حمیده یزدان پناه اسرمی - گروه مهندسی مواد دانشگاه آزاد اسلامی واحد کرج

دراین مقاله مراحل اولیه رشد لایه های نازک آلومینیوم بر روی زیرلایه گرافیت در دماها و آهنگ های انباشت گوناگون به صورت 3 بعدی با استفاده از روش مونت کارلو جنبشی شبیه سازی شده است. در این شبیه سازی انرژی های مربوط به سدهای پتانسیل مربوط به اتم های آلومینیوم با استفاده از روش (Embedded Atom Method) EAM محاسبه شده و برای بر هم کنش بین اتم های آلومینیوم - آلومینیوم از پتانسیل ساتون چن و آلومنیم - کربن از پتانسیل لنارد جونز استفاده شده است. در این شبیه سازی تغییرات تنش باقی مانده و اندازه متوسط جزیره ها نسبت به تغییرات دمای زیرلایه و آهنگ انباشت موردبررسی قرار گرفته است. نتایج نشان میدهد با افزایش دما، تنش باقی مانده کاهش یافته و به یک مقدار ثابت می رسد. همچنین اندازه جزیره های در حال رشد با افزایش دما کاهش و با افزایش آهنگ انباشت کاهش یافته است. نتایج از لحاظ کیفی هم خوانی خوبی با نتایج تجربی دارد.

لایه های نازک، شبیه سازی مونت کارلو، EAM، آلومینیم