شبیه سازی مراحل اولیه رشد لایه های نازک آلومینیوم به روش PVD بر روی زیرلایه گرافیت با استفاده از روش EAM و مونت کارلوی جنبشی
- سال انتشار: 1388
- محل انتشار: دهمین سمینار ملی مهندسی سطح و عملیات حرارتی
- کد COI اختصاصی: ISSE10_142
- زبان مقاله: فارسی
- تعداد مشاهده: 2216
نویسندگان
دانشکده علوم پایه دانشگاه اراک
دانشکده علوم پایه دانشگاه اراک
دانشکده علوم پایه دانشگاه اراک
گروه مهندسی مواد دانشگاه آزاد اسلامی واحد کرج
چکیده
دراین مقاله مراحل اولیه رشد لایه های نازک آلومینیوم بر روی زیرلایه گرافیت در دماها و آهنگ های انباشت گوناگون به صورت 3 بعدی با استفاده از روش مونت کارلو جنبشی شبیه سازی شده است. در این شبیه سازی انرژی های مربوط به سدهای پتانسیل مربوط به اتم های آلومینیوم با استفاده از روش (Embedded Atom Method) EAM محاسبه شده و برای بر هم کنش بین اتم های آلومینیوم - آلومینیوم از پتانسیل ساتون چن و آلومنیم - کربن از پتانسیل لنارد جونز استفاده شده است. در این شبیه سازی تغییرات تنش باقی مانده و اندازه متوسط جزیره ها نسبت به تغییرات دمای زیرلایه و آهنگ انباشت موردبررسی قرار گرفته است. نتایج نشان میدهد با افزایش دما، تنش باقی مانده کاهش یافته و به یک مقدار ثابت می رسد. همچنین اندازه جزیره های در حال رشد با افزایش دما کاهش و با افزایش آهنگ انباشت کاهش یافته است. نتایج از لحاظ کیفی هم خوانی خوبی با نتایج تجربی دارد.کلیدواژه ها
لایه های نازک، شبیه سازی مونت کارلو، EAM، آلومینیممقالات مرتبط جدید
- ساخت و مشخصه یابی هیدروژلهای درجا تشکیل شونده بر پایه فیبروئین ابریشم
- بررسی تاثیر افزودنی های مختلف بر مورفولوژی پوشش الکترولس نیکل روی فولاد ۳۰۴
- تحلیل و بررسی الگوی انتشار گازهای خروجی از فلر واحد الفین پتروشیمی گچساران به کمک نرم افزار Phast
- بررسی تجربی پایداری شعله در یک مشعل متخلخل استوانه ای دارای پیش مخلوط کننده
- بررسی جذب گاز کربن دی اکسید توسط نانو کره های سیلیکای متخلخل عامل دار شده با آمین
اطلاعات بیشتر در مورد COI
COI مخفف عبارت CIVILICA Object Identifier به معنی شناسه سیویلیکا برای اسناد است. COI کدی است که مطابق محل انتشار، به مقالات کنفرانسها و ژورنالهای داخل کشور به هنگام نمایه سازی بر روی پایگاه استنادی سیویلیکا اختصاص می یابد.
کد COI به مفهوم کد ملی اسناد نمایه شده در سیویلیکا است و کدی یکتا و ثابت است و به همین دلیل همواره قابلیت استناد و پیگیری دارد.