بررس طیف نوار ظرفیت نیترید سیلیکون فرا نازک

  • سال انتشار: 1388
  • محل انتشار: پنجمین همایش دانشجویی فناوری نانو
  • کد COI اختصاصی: NANOSC05_031
  • زبان مقاله: فارسی
  • تعداد مشاهده: 1495
دانلود فایل این مقاله

نویسندگان

علی بهاری

دانشگاه مازندران - دانشکده علوم پایه - گروه فیزیک

مینا السادات اطیانی

چکیده

فیلم های نیترید سیلیکون که تا کنون بر زیر لایه ی si (100)2*1 رشد یافته اند ساختارهای کریستالی آلفایی و بتایی دارند و قادر نیستند از جریان نشتی حامل ها و جریان تونل زنی ممانعت کنند. در اینجا، توانستیم فیلم آمورف و خالص نیترید سیلیکون را بر زیر لایه ی si (100)2*1 رشد دهیم و به دلیل اهمیت ساختار سطح، در کار حاضر به ساختار کپه ای در کنار ساختار سطح فیلم پرداخته ایم در واقع با روش برازش گوسی ساختار نوار ظرفیت فیلم های فرا نازک نیترید سیلیکون را بررسی کردیم که نتایج بدست آمده نشاندهنده ی آمورف بودن فیلم نیترید سیلیکون است.

کلیدواژه ها

گیت دی الکتریک ها، نانو ترانزیستور ، نانو ساختار ، نیترید سیلیکون فرا نازک و تکنیک تابش سینکروترونی

مقالات مرتبط جدید

اطلاعات بیشتر در مورد COI

COI مخفف عبارت CIVILICA Object Identifier به معنی شناسه سیویلیکا برای اسناد است. COI کدی است که مطابق محل انتشار، به مقالات کنفرانسها و ژورنالهای داخل کشور به هنگام نمایه سازی بر روی پایگاه استنادی سیویلیکا اختصاص می یابد.

کد COI به مفهوم کد ملی اسناد نمایه شده در سیویلیکا است و کدی یکتا و ثابت است و به همین دلیل همواره قابلیت استناد و پیگیری دارد.