بررس طیف نوار ظرفیت نیترید سیلیکون فرا نازک
- سال انتشار: 1388
- محل انتشار: پنجمین همایش دانشجویی فناوری نانو
- کد COI اختصاصی: NANOSC05_031
- زبان مقاله: فارسی
- تعداد مشاهده: 1495
نویسندگان
دانشگاه مازندران - دانشکده علوم پایه - گروه فیزیک
چکیده
فیلم های نیترید سیلیکون که تا کنون بر زیر لایه ی si (100)2*1 رشد یافته اند ساختارهای کریستالی آلفایی و بتایی دارند و قادر نیستند از جریان نشتی حامل ها و جریان تونل زنی ممانعت کنند. در اینجا، توانستیم فیلم آمورف و خالص نیترید سیلیکون را بر زیر لایه ی si (100)2*1 رشد دهیم و به دلیل اهمیت ساختار سطح، در کار حاضر به ساختار کپه ای در کنار ساختار سطح فیلم پرداخته ایم در واقع با روش برازش گوسی ساختار نوار ظرفیت فیلم های فرا نازک نیترید سیلیکون را بررسی کردیم که نتایج بدست آمده نشاندهنده ی آمورف بودن فیلم نیترید سیلیکون است.کلیدواژه ها
گیت دی الکتریک ها، نانو ترانزیستور ، نانو ساختار ، نیترید سیلیکون فرا نازک و تکنیک تابش سینکروترونیمقالات مرتبط جدید
- ساخت رویه هندسی فولادی به روش تولید افزایشی سیم و قوس (WAAM)
- بررسی اثر افزودنی نانوذرات Y۲O۳ بر ریزساختار روکش اینکونل ۷۱۸
- بررسی اثر زمان عملیات حرارتی پیرسازی بر ریزساختار و خواص مکانیکی در اتصال لحیم نرم بدون سرب کامپوزیتی Sn-Ag-Cu/Co روی زیرلایه مسی
- تاثیر متغیرهای جوشکاری لیزر ضربانی بر تنش پسماند فولاد زنگ نزن آستنیتی L۳۱۶ با استفاده از روش المان محدود (FEM)
- بررسی ریزساختاری روکش کاری لیزری CoCrMoSi
اطلاعات بیشتر در مورد COI
COI مخفف عبارت CIVILICA Object Identifier به معنی شناسه سیویلیکا برای اسناد است. COI کدی است که مطابق محل انتشار، به مقالات کنفرانسها و ژورنالهای داخل کشور به هنگام نمایه سازی بر روی پایگاه استنادی سیویلیکا اختصاص می یابد.
کد COI به مفهوم کد ملی اسناد نمایه شده در سیویلیکا است و کدی یکتا و ثابت است و به همین دلیل همواره قابلیت استناد و پیگیری دارد.