بررسی نانو ساختار و خواص حسگری متانول لایه های نازک WO3

لایه نازک WO3 با روش تبخیر با باریکه الکترونی بر روی لایه SiO2/Si انباشت شد و سپس در دمای 500 درجه حرارت در حضور شار اکسیژن بازپخت شد. ساختار بلوری نمونه قبل و بعد از بازپخت و ریخت شناسی سطح آن به ترتیب با استفاده از آنالیز پراش پرتو X- و میکروسکوپ نیروی اتمی بررسی شد همچنین خواص حسگری نمونه نسبت به غلظت ppm 50 از گاز متانول در بازه دمایی 140-260 درجه حرارت مطالعه شد بررسی ها نشان داد که نمونه حساسیت قابل قبولی نسبت به بخار الکل متانول نشان میدهد، در حالی که بیشترین میزان حساسیت در دمای عملکرد 240 درجه حرارت بدست آمد.

کلیدواژه ها:

لایه نازک ، WO3 ، خواص حسگری ، متانول