بابک علی نژاد - آزمایشگاه ترموالکتریک ،پژوهشکده نیمه هادی ها،پژوهشگاه مواد و انرژی
داوود کلهر - گروه فیزیک دانشکده فیزیک دانشگاه علوم پایه دامغان
مرتضی ایزدی فرد - گروه فیزیک دانشکده علوم پایه دانشگاه صنعتی شاهرود
کورش محمودی - آزمایشگاه ترموالکتریک ،پژوهشکده نیمه هادی ها،پژوهشگاه مواد و انرژی

در این مقاله اثر دمای زیرلایه بر میکروساختار و خواص های نازک Bi2Te3 ساخته شده به روش تبخیر حرارتی سریع، با استفاده از میکروسکوپ نیرواتمی ( AFM)، تکنیکهای آنالیز میکروسکوپ الکترون روبشی ( SEM) و پراش اشعه X بررسی شده است. نشان داده ایم هنگامی که دمای زیرلایه از دمای اتاق به 300 درجه سانتیگراد افزایش مییابد، ساختار لایه نازک Bi2Te3 از فرم آمورف، به دانههایی با ساختار کریستالی شش وجهی تبدیل میشود. برای دمای زیرلایه بیشتر از 300 درجه سانتیگراد، لایه نازک Bi2Te3 بصورت بافتی موازی با نظم بلندبرد درجهت ( 015 ) کریستالیزه میشود و بطور همزمان فاز ناخواسته BiTe تشکیل میشود.