Mechanical Properties and Microstructural Evolution of Ta/TaNx Double Layer Thin Films Deposited by Magnetron Sputtering
- سال انتشار: 1395
- محل انتشار: ماهنامه بین المللی مهندسی، دوره: 30، شماره: 2
- کد COI اختصاصی: JR_IJE-30-2_016
- زبان مقاله: انگلیسی
- تعداد مشاهده: 356
نویسندگان
Department of Material Science and Engineering, Shahid Bahonar University, Kerman, Iran.
Department of Material Science and Engineering, Shahid Bahonar University, Kerman, Iran.
Faculty of Materials Science and Engineering, Semnan University, Semnan, Iran.
چکیده
Crystalline tantalum thin films of about 500nm thickness were deposited on AISI 316L stainless steel substrate using magnetron sputtering. To investigate the nano-mechanical properties of tantalum films, deposition was performed at two temperatures (25°C and 200°C) on TaNx intermediate layer with different N2/Ar flow rate ratio from 0 to 30%. Nano-indentation was performed to obtain the mechanical properties of the films including hardness, Young’s modulus and plasticity free of substrate influence. Cross sectional FESEM was performed to measure the thickness of films. To evaluate the results, the grain size and crystallographic structure of the films was obtained, using atomic force microscopy (AFM) and X-Ray diffraction (XRD) respectively. It was found that, increasing sputtering temperature up to 200°C leads to slight decrease in hardness and Young’s modulus, and small increase in plasticity due to grain growth without any phase transformation. Whereas, using TaNx interlayer promoted formation of cubic-tantalum with higher plasticity and lower hardness in comparison to tetragonal structure. Therefore, it can makes tantalum film an applicable product for mechanically protectingکلیدواژه ها
Nano-indentation,Tantalum,Thin film,Grain size,Phase characterization,مقالات مرتبط جدید
- بررسی به کارگیری سیستم ذخیره سازی انرژی با استفاده از منابع انرژی تجدیدپذیر
- اقدامات لازم برای حفاظت از محیط زیست دریایی
- ارائه طرح مبتنی بر رایانش ابری جهت ارتقاء بهره وری صنایع خودروسازی (مطالعه موردی: مدیران خودرو)
- مروری بر تکنولوژی ماکرویو برای خردایش سنگ های کمیاب
- کاربرد و بکارگیری تکنولوژی های اینترنت اشیا ، یادگیری ماشین و پردازش تصویر در امنیت و کنترل خودرو
اطلاعات بیشتر در مورد COI
COI مخفف عبارت CIVILICA Object Identifier به معنی شناسه سیویلیکا برای اسناد است. COI کدی است که مطابق محل انتشار، به مقالات کنفرانسها و ژورنالهای داخل کشور به هنگام نمایه سازی بر روی پایگاه استنادی سیویلیکا اختصاص می یابد.
کد COI به مفهوم کد ملی اسناد نمایه شده در سیویلیکا است و کدی یکتا و ثابت است و به همین دلیل همواره قابلیت استناد و پیگیری دارد.