بررسی پایداری دمایی لایه آمورف نیترید تنگستن/تنگستن سنتز شده به روش تبخیرگرمایی و محاسبه ضریب نفوذ مس در سیلیکون از میان لایه مانع نفوذ نیترید تنگستن/تنگستن
- سال انتشار: 1395
- محل انتشار: اولین همایش ملی فن آوری در مهندسی کاربردی
- کد COI اختصاصی: NCTAE01_206
- زبان مقاله: فارسی
- تعداد مشاهده: 671
نویسندگان
دانشگاه آزاد اسلامی واحد تهران غرب تهران ایران
دانشگاه آزاد اسلامی واحد تهران غرب تهران ایران
دانشگاه آزاد اسلامی واحد علوم و تحقیقات تهران ایران
چکیده
لایه آمورف نیترید تنگستن/تنگستن با پایداری گرمایی بالا به روش تبخیرگرمایی روی زیر لایه سیلیکون / اکسید سیلیکون نشانده شد. لایه نیترید تنگستن در تکنولوژی بسیار حایز اهمیت است. این لایه دارای مقاومت الکتریکی پایین است و مانع خوبی برای جلوگیری از نفوذ مس در سیلیکون و یا اکسید سیلیکون بشمار می رود. پایداری گرمایی نمونه ها توسط پراش اشعه ایکس و میکروسکوپ الکترونی روبشی مورد بررسی قرار گرفت. برطبق نتایج پراش اشعه ایکس فاز عایق سیلیسید مس در دمای 800 درجه سانتی گراد تشکیل می شود که تشکیل آن به معنای نفوذ مس از میان لایه مانع نفوذ نیترید تنگستن/تنگستن است که افزایش ناگهانی مقاومت الکتریکی را در پی داشته و کارایی لایه نیترید تنگستن/تنگستن را با شکست مواجه می سازد. بخش عمده نفوذ مس در سیلیکون از طریق مرزدانه های ناخواسته ای است که در مراحل آنیل لایه آمورف نیترید تنگستن/تنگستن با تغییر فاز آن از آمورف به پلی کریستالین رخ داده است. نتایج میکروسکوپ نیروی اتمی، افزایش زبری سطح نمونه ها را در دماهای بالا نشان می دهد. اندازه دانه ها نقش مهمی را درکنترل پایداری دمایی لایه نیترید تنگستن/تنگستن ایفاء می کند.کلیدواژه ها
لایه نازک مانع نفوذ ، نفوذ از طریق مرزدانه، رشد دانه، مکانیزم نفوذ، سیلیسید مسمقالات مرتبط جدید
- بررسی به کارگیری سیستم ذخیره سازی انرژی با استفاده از منابع انرژی تجدیدپذیر
- اقدامات لازم برای حفاظت از محیط زیست دریایی
- ارائه طرح مبتنی بر رایانش ابری جهت ارتقاء بهره وری صنایع خودروسازی (مطالعه موردی: مدیران خودرو)
- مروری بر تکنولوژی ماکرویو برای خردایش سنگ های کمیاب
- کاربرد و بکارگیری تکنولوژی های اینترنت اشیا ، یادگیری ماشین و پردازش تصویر در امنیت و کنترل خودرو
اطلاعات بیشتر در مورد COI
COI مخفف عبارت CIVILICA Object Identifier به معنی شناسه سیویلیکا برای اسناد است. COI کدی است که مطابق محل انتشار، به مقالات کنفرانسها و ژورنالهای داخل کشور به هنگام نمایه سازی بر روی پایگاه استنادی سیویلیکا اختصاص می یابد.
کد COI به مفهوم کد ملی اسناد نمایه شده در سیویلیکا است و کدی یکتا و ثابت است و به همین دلیل همواره قابلیت استناد و پیگیری دارد.