بررسی تاثیر ابعاد هندسی میکروتیر پیزوالکتریک دولایه بر جریان خروجی از لایه پیزوالکتریک مرتعش

در تلاش برای ارتقاء عملکرد میکروسکوپهای نیروی اتمی همزمان با کوچکسازی ابعاد آن و بکارگیری پرابهای متعدد، میکروکانتیلورها مجهز به لایههای پیزوالکتریک و پیزومقاومتی شده و قادر به کنترل موقعیتهای منحصر به فرد و تشخیص دقیق تغییر شکلهای کانتیلور میباشند. در این مقاله آنالیز حساسیت جریان خروجی از لایه پیزوالکتریک بر روی یک میکروتیر خود اندازه گیر که شامل دو لایه الکترود، دو لایه پیزوالکتریک و یک لایه پایه میباشد، انجام خواهد شد. همچنین به بررسی تاثیر ضخامت الکترودها بر جریان خروجی از لایه پیزوالکتریک و همچنین تاثیر ابعاد هندسی لایه پیزوالکتریک و تیر پایه بر جریان خروجی از لایه پیزوالکتریک پرداخته خواهد شد. نتایج نیز نشان خواهند داد که تاثیر گذارترین پارامتر هندسی بر روی جریان خروجی از لایه پیزوالکتریک، طول لایه پایه میباشد.

کلیدواژه ها:

میکروتیر پیزوالکتریک ، میکروسکوپ نیروی اتمی ، جریان خروجی ، آنالیز حساسیت ، سنسور