بررسی آماری نانوزبری ساختارهای سیلیکانی حاصل از حکاکی ناهمگن

تاثیر زمان حکاکی بر مورفولوژی و نانوربری ساختارهای سیلیکان ضمن فرایند حکاکی ناهمگن با محلول بازی KOH مورد مطالعه قرار می گیرد ساختار حاصل ضمن فرایند حکاکی از طریق میکروسکوپ نیروی اتمی AFM میکرسکوپ الکترونی روبشی گسیل میدانی FESEM و روشهای آماری مبتنی بر محاسبه سطح موثر بررسی شود تصاویر FESEM ساختارهای هرمی شکلی را نشان م یدهند که حاکی از ناهمگن بودن فرایند حکاکی است محاسبه سطح موثر ساختارهای ایجاد دشه مبتنی بر تعیین زبری و طول همبستگی حاصل از داده های AFM نشان می دهد که با گذشت زمان حکاکی سطح موثر ساختار افزایش می یابد کمیتهای آماری اسکیونس و کورتوسیس انحراف تابع توزیع ساختارهای ایجاد شده نسبت به توزیع نرمال را نشان داده که مقدار این انحرافها ناهمگنی با افزایش زمان حکاکی بیشتر می شوند بررسی خطوط کانتوری ساختارهای حاصل تاییدی بر افزایش اندازه ذرات و سطح ویژه موثر با افزایش زمان حکاکی است.

کلیدواژه ها:

نانوزبری ، سیلیکان ، AFM ، حکاکیس ناهمگن ، مورفولوژی ، خطوط کانتوری