Co-deposition of Pyrolytic Carbon-Silicon Carbide Composite from Trimethylsilyl Chloride Precursor: Effect of Concentration and Substrate

سال انتشار: 1395
محل انتشار: دوازدهمین سمینار بین المللی علوم و تکنولوژی پلیمر
کد COI اختصاصی: ISPST12_324
زبان مقاله: انگلیسی
تعداد مشاهده: 485

نویسندگان

Department of Gas Conversion, Iran Polymer and Petrochemical Institute, Tehran, Iran

چکیده

Pyrolytic carbon-silicon carbide (PyC-SiC) composite was produced by chemical vapor deposition (CVD) method. Trimethylsilyl chloride (TMSCl) was used as a source material to synthesize the composite. SiC and PyC arranged themselves next to each other by co-deposition method to form the composite. The formation of PyC-SiC composites and their morphology were followed by Raman spectroscopy and scanning electron microscopy, respectively. The effects of substrate type and TMSCl concentration on the microstructure and content of the composite were examined in this study. The results showed that TMSCl at 2.5%vol and graphite, as a substrate, were more suitable for the synthesis of composites with higher silicon carbide content (25% mole Si), minimum amorphous Si and lower defects in PyC crystals

کلیدواژه ها

pyrolytic carbon – silicon carbide – CVD – composite – codeposition

اطلاعات بیشتر در مورد COI

COI مخفف عبارت CIVILICA Object Identifier به معنی شناسه سیویلیکا برای اسناد است. COI کدی است که مطابق محل انتشار، به مقالات کنفرانسها و ژورنالهای داخل کشور به هنگام نمایه سازی بر روی پایگاه استنادی سیویلیکا اختصاص می یابد.

کد COI به مفهوم کد ملی اسناد نمایه شده در سیویلیکا است و کدی یکتا و ثابت است و به همین دلیل همواره قابلیت استناد و پیگیری دارد.