بررسی اثرات هندسه بر روی ولتاژ پولینگ در سوییچ های RF MEMS به منظور کاهش ولتاژ تحریک

سال انتشار: 1395
نوع سند: مقاله کنفرانسی
زبان: فارسی
مشاهده: 433

فایل این مقاله در 6 صفحه با فرمت PDF قابل دریافت می باشد

استخراج به نرم افزارهای پژوهشی:

لینک ثابت به این مقاله:

شناسه ملی سند علمی:

COMCONF03_038

تاریخ نمایه سازی: 6 اردیبهشت 1396

چکیده مقاله:

یکی از مهمترین کاربردها در بحث MEMS ، سوییچ های RF MEMS می باشد و مهمترین عامل در این سوییچ ها نوع و مقدار تحریک است که در این مقاله مرا از تحریک الکترواستاتیکی برای راه اندازی مورد استفاده قرار دادیم و تاثیر تغییرات هندسه و شکل حفره ها روی ولتاژ پولینگ را به صورت کامل بررسی و در نرم افزار ANSYS مورد آنالیز و تحلیل قرار داده شد. نتایج بدست آمده نشان می دهد که بیشترین تاثیر برای کاهش ولتاژ پولینگ، ابعاد صفحه و کمترین تغییرات به ازای تغییر شکل حفره ها حاصل می گردد.

نویسندگان

مسعود گلی فسقندیس

دانش - آموخته کارشناسی ارشد - دانشکده برق و الکترونیک - دانشگاه آزاد واحد علوم و تحقیقات تبریز ایران

مراجع و منابع این مقاله:

لیست زیر مراجع و منابع استفاده شده در این مقاله را نمایش می دهد. این مراجع به صورت کاملا ماشینی و بر اساس هوش مصنوعی استخراج شده اند و لذا ممکن است دارای اشکالاتی باشند که به مرور زمان دقت استخراج این محتوا افزایش می یابد. مراجعی که مقالات مربوط به آنها در سیویلیکا نمایه شده و پیدا شده اند، به خود مقاله لینک شده اند :
  • Abbaspour Sani, E. and Afrang, S. (2006), "A Low Voltage ...
  • Abbaspour Sani, E., Nasirzadeh, N. and Dadashzadeh, G. (2007), "Two ...
  • Kim, H. T., Park, J. H., Yim, J., Kim, Y. ...
  • Jahanbakht, M., Moghaddasi, M. N., and Lotfi Neyestanak, A. A. ...
  • Rebeiz, G. M. (2003), "RF MEMS: Theory, Design, and Technology" ...
  • Peter, M., Osterberg, D., and Stephen, S. (1990), "M-TEST: A ...
  • Kaajakari, _ (2009), "Closed form Expressions for RF MEM5 Switch ...
  • نمایش کامل مراجع