Simulation and analysis of two structures from SAW gas sensor based MEMS gas sensor

سال انتشار: 1394
محل انتشار: دومین کنفرانس بین المللی مهندسی دانش بنیان و نوآوری
کد COI اختصاصی: KBEI02_261
زبان مقاله: انگلیسی
تعداد مشاهده: 636

نویسندگان

Department of Technical and Engineering University of Razi Kermanshah, Iran

چکیده

In this paper two structures of Surface Acoustic Wave (SAW) sensor: classical single electrode Interdigited Transducer (IDT) and standard double split electrodeInterdigited Transducer (IDT), based Micro Electro Mechanical Systems (MEMS) gas sensor are simulated by using comsol multi-physics software based on Finite Element Method (FEM). The shift in resonance frequency of the SAW sensor for both structures was determined and the effect of changing the width,position and thickness of the electrodes as well as the thickness of the sensing layer and substrate height on the shift in resonancefrequency, electrical potential and total displacement at resonance frequency has been studied and in order to enhancing sensitivity and shift in resonant frequency, a new model is presented. But have maintained the same wavelength to allow for easier comparisons.

کلیدواژه ها

surface acoustic wave; interdigited transducer;MEMS; finite element method; piezoelectric

مقالات مرتبط جدید

اطلاعات بیشتر در مورد COI

COI مخفف عبارت CIVILICA Object Identifier به معنی شناسه سیویلیکا برای اسناد است. COI کدی است که مطابق محل انتشار، به مقالات کنفرانسها و ژورنالهای داخل کشور به هنگام نمایه سازی بر روی پایگاه استنادی سیویلیکا اختصاص می یابد.

کد COI به مفهوم کد ملی اسناد نمایه شده در سیویلیکا است و کدی یکتا و ثابت است و به همین دلیل همواره قابلیت استناد و پیگیری دارد.