Surface Modification of Silicon with Picosecond Laser Pulses in Air
- سال انتشار: 1385
- محل انتشار: هفتمین سمینار ملی مهندسی سطح و عملیات حرارتی
- کد COI اختصاصی: ISSE07_098
- زبان مقاله: انگلیسی
- تعداد مشاهده: 1697
نویسندگان
Department of Physics Shahid Beheshti University, Tehran, Iran
Department of Physics Shahid Beheshti University, Tehran, Iran
Department of Physics Azarbijan Tarbiat Moallem University, Tabriz, Iran
چکیده
We report the observation of laser-induced surface modification of silicon in air using Nd: YAG picosecond ( ps ) pulsed laser irradiation. The n-type (100) silicon wafers exposed to laser fluence levels of 1 to 5 J/cm2. Below the laser fluence level of 1.3 J/cm2 no significant change in the surface morphology is observed. The formation of microstructures occurs at high number of laser pulses (~5000) at laser fluence of 1.3-1.5 J/cm2. The microstructures are cones which grew toward the laser beam and surrounded by deep holes. The ps-formed microstructures are roughly 10 μm tall and separated by 5 μm in the center of the irradiation spot. Nanocolumns (or Nanodroplets) are formed on top of every cone of the laser-induced microstructures surface, reaching a height of ~1 μm and diameter of 100−250 nm. At higher applied laser fluence levels (above 1.5 J/cm2), no conical spikes formed and ablated hole with smooth surface is obtained. We will discuss on the possible mechanism underlying these experimental observations.کلیدواژه ها
Surface modification of solids, conical microstructure, picosecond pulse,siliconمقالات مرتبط جدید
- توسعه آلیاژ چهارتایی پایه روی و بررسی ریزساختار در حالت های مختلف میکروسکوپ الکترونی روبشی ( SE و BSE)
- اصول نرم شدن در مواد تغییر شکل یافته به کمک عملیات اولتراسونیک
- ۳D Flow Simulation Inside a Desuperheater
- چرخه عمر فعالیت های اکتشافی و بهره برداری معدن سرب و روی انگوران زنجان با استفاده از روش بیزین
- The effect of welding current on dilution and geometry of coated High Entropy on Ductile Cast Iron substrate
اطلاعات بیشتر در مورد COI
COI مخفف عبارت CIVILICA Object Identifier به معنی شناسه سیویلیکا برای اسناد است. COI کدی است که مطابق محل انتشار، به مقالات کنفرانسها و ژورنالهای داخل کشور به هنگام نمایه سازی بر روی پایگاه استنادی سیویلیکا اختصاص می یابد.
کد COI به مفهوم کد ملی اسناد نمایه شده در سیویلیکا است و کدی یکتا و ثابت است و به همین دلیل همواره قابلیت استناد و پیگیری دارد.