بررسی اثر ایندیوم Indium-doped در فیلمهای نازک SnO2 ساخته شده به روش سل ژل

  • سال انتشار: 1385
  • محل انتشار: هفتمین سمینار ملی مهندسی سطح و عملیات حرارتی
  • کد COI اختصاصی: ISSE07_075
  • زبان مقاله: فارسی
  • تعداد مشاهده: 1087
دانلود فایل این مقاله

نویسندگان

محمود رضایی رکن آبادی

گروه فیزیک، دانشگاه فردوسی مشهد

حنانه کیوان

گروه فیزیک، دانشگاه فردوسی مشهد

مریم داوری

گروه فیزیک، دانشگاه فردوسی مشهد

چکیده

لایه های نازک نیمه هادی شفاف sno2 به روش های مختلف از جمله اسپری پایرولیزز تبخیر حرارتی، CVD ، اسپاترینگ تهیه می شود. در این مقاله مشخصه های فیلم نازک تهیه شده sno2 به روش sol-gel به وسیله تفرق پرتو x ، مورد ارزیابی قرار گرفت . همچنین، میزان اثر هال و مقدار جذب و عبور در ناحیه مرئی مورد بررسی قرار داده شد . اندازه گیری اثر هال نشان داد که نوع هدایت لایه بستگی زیادی به فرآیند گرمادهی (0/25> In/Sn) دارد. در مورد درصد وزنی In/Sn کوچک تر از 0/25 و عملیات گرمادهی بالای 430 درجه سانتیگراد لایه نوع P است، در حالیکه در مورد فرآیند گرمادهی کوچک تر از 430 درجه سانتیگراد فیلم نوع n است . مشخص شد، نقطه اپتیمم دمایی برایsno2 نوع p ، حدود 520 درجه سانتیگراد است و در این دما بیشترین تمرکز حفره را وجود دارد. اندازهگیریها نشان داد که فیلم با درصد وزنی 0/35 > In/Sn دارای هدایت نوع n است. در مورد درصد وزنی حدود 0/3 تشخیص نوع n و p قدری دشوار و مشکل است و در حقیقت به عنوان یک نقطه بحرانی برای گذار از نوع p به نوع n است . آزمایش های XRD نیز نشان داد که همه فیلم ها با تمرکز 0/4> In/Sn دارای ساختار هگزاگونال است. برای درصد وزنی 0/25 > In/Sn و عملیات گرمادهی بالای 430درجه سانتیگراد لایه نوع p لازم است. در حالی که با همین درصد ناخالصی در فرآیند گرمادهی کوچکتر از 430 درجه سانتیگراد لایه نوع n لازم است.

کلیدواژه ها

لایه نازک قلع، ناخالصی ایندیوم، نیمه هادی شفاف نوع n و p

مقالات مرتبط جدید

اطلاعات بیشتر در مورد COI

COI مخفف عبارت CIVILICA Object Identifier به معنی شناسه سیویلیکا برای اسناد است. COI کدی است که مطابق محل انتشار، به مقالات کنفرانسها و ژورنالهای داخل کشور به هنگام نمایه سازی بر روی پایگاه استنادی سیویلیکا اختصاص می یابد.

کد COI به مفهوم کد ملی اسناد نمایه شده در سیویلیکا است و کدی یکتا و ثابت است و به همین دلیل همواره قابلیت استناد و پیگیری دارد.