طراحی و شبیه سازی میکروژیروسکوپ الکترومکانیکی با تحریک و حسگری خازنی

سال انتشار: 1394
محل انتشار: کنفرانس بین المللی یافته های نوین پژوهشی در علوم،مهندسی و فناوری با محوریت پژوھشھای نیاز محور
کد COI اختصاصی: ICMRS01_582
زبان مقاله: فارسی
تعداد مشاهده: 515

نویسندگان

استادیار، مهندسی مکانیک، گروه مکانیک، دانشگاه صنعتی ارومیه

کارشناسی ارشد، مهندسی مکانیک، گروه مکانیک، دانشگاه صنعتی ارومیه

چکیده

؛ MEMS فناوری ساخت ادوات بسیار کوچک الکترومکانیکی است که در مقیاس نانو با سیستم های نانو الکترو مکانیکی (NEMS) تلفیق می شود. صنایع میکرو الکترومکانیکی به وفور مورد استفاده قرار می گیرند و به دلیل حجم و وزن کم، هزینه ساخت پایین استفاده از آنها روز به روز در حال افزایش است. دراین مطالعه، هدف طراحی و شبیه سازی میکرو ژایروسکوپ با تحریک و حسگری خازنی در ناحیه رزونانس اولیه جهت استفاده در صنعت خودرو و مطالعه تاثیر نوع رانش و حسگری، اعم از خطی و غیر خطی در پارامترهای حاکم بر مسئله اعم از ضریب کیفیت، پهنای باند، حساسیت و ... می باشد. مدل مورد نظر می تواند در صنایع هوا- فضا و همچنین سیستم های ناوبری کشتی ها و خودروها مورد استفاده قرار گیرد. همچنین در تجهیزات الکترونیکی به وفور از ژیروسکوپ های میکروالکترو مکانیکی استفاده می شود. با توجه به نتایج دو نوع میرایی در ژیروسکوپ های Mems وجود دارد و میرایی سازه ای در مقایسه با میرایی لزجی قابل صرف نظر است.

کلیدواژه ها

سیستم های میکرو الکترومکانیکی، ژیروسکوپ، استهلاک لایه ای هوا، شتاب کریولیس

مقالات مرتبط جدید

اطلاعات بیشتر در مورد COI

COI مخفف عبارت CIVILICA Object Identifier به معنی شناسه سیویلیکا برای اسناد است. COI کدی است که مطابق محل انتشار، به مقالات کنفرانسها و ژورنالهای داخل کشور به هنگام نمایه سازی بر روی پایگاه استنادی سیویلیکا اختصاص می یابد.

کد COI به مفهوم کد ملی اسناد نمایه شده در سیویلیکا است و کدی یکتا و ثابت است و به همین دلیل همواره قابلیت استناد و پیگیری دارد.