نشاندن خوشه ای نقره در مقیاس نانو بر روی پولک (111)Si با روش تبخیر فیزیکی در شیوه پرتو الکترونی

محل انتشار: همایش ملی مواد نو
سال انتشار: 1387
نوع سند: مقاله کنفرانسی
زبان: فارسی
مشاهده: 1,230

فایل این مقاله در 5 صفحه با فرمت PDF قابل دریافت می باشد

استخراج به نرم افزارهای پژوهشی:

لینک ثابت به این مقاله:

شناسه ملی سند علمی:

NEWMATERIALS01_084

تاریخ نمایه سازی: 31 فروردین 1387

چکیده مقاله:

برای تهیه خوشه های نقره در مقیاس نانو بر روی یک زیر لایه و مطالعه خواص سینتیکی این خوشه ها از روش خوشه های PVD در شیوه تبخیر الکترونی لایه نشانی خلاء استفاده گردید. در این روش نقره به قطر 250-150 نانومتر و به ارتفاع 12-5 نانومتر بر روی سیلیکون نشانده شد و پس از انجام تعدادی لایه نشانی برای دستیابی به هدف کمتر از خوشه های 500 تایی نشانده شده روی زیرلایه در سه پله برای نرسیدن تمام بخار نقره به زیرلایه آرایش ایجاد موانع (نقاب) طرح و مقدار لازم بخار نقره به صورت خوشه های اتمی روی زیرلایه نشانده شد. در هر پله دریچه 4 میلیمتری که به صورت کانال تعبیه شده و بر روی هر یک از دریچه ها توری استاندارد TEM قرار داشت استفاده شد و در نهایت با دستگاه AFM خوشه های اتمی تشکیل یافته و همچنین شکب تجمع آن بررسی گردید.

نویسندگان

قاسم کاوه ای

پژوهشکده نیمه هادیها، پژوهشگاه مواد و انرژی، مشکین دشت