نشاندن خوشه ای نقره در مقیاس نانو بر روی پولک (111)Si با روش تبخیر فیزیکی در شیوه پرتو الکترونی
محل انتشار: همایش ملی مواد نو
سال انتشار: 1387
نوع سند: مقاله کنفرانسی
زبان: فارسی
مشاهده: 1,230
فایل این مقاله در 5 صفحه با فرمت PDF قابل دریافت می باشد
- صدور گواهی نمایه سازی
- من نویسنده این مقاله هستم
استخراج به نرم افزارهای پژوهشی:
شناسه ملی سند علمی:
NEWMATERIALS01_084
تاریخ نمایه سازی: 31 فروردین 1387
چکیده مقاله:
برای تهیه خوشه های نقره در مقیاس نانو بر روی یک زیر لایه و مطالعه خواص سینتیکی این خوشه ها از روش خوشه های PVD در شیوه تبخیر الکترونی لایه نشانی خلاء استفاده گردید. در این روش نقره به قطر 250-150 نانومتر و به ارتفاع 12-5 نانومتر بر روی سیلیکون نشانده شد و پس از انجام تعدادی لایه نشانی برای دستیابی به هدف کمتر از خوشه های 500 تایی نشانده شده روی زیرلایه در سه پله برای نرسیدن تمام بخار نقره به زیرلایه آرایش ایجاد موانع (نقاب) طرح و مقدار لازم بخار نقره به صورت خوشه های اتمی روی زیرلایه نشانده شد. در هر پله دریچه 4 میلیمتری که به صورت کانال تعبیه شده و بر روی هر یک از دریچه ها توری استاندارد TEM قرار داشت استفاده شد و در نهایت با دستگاه AFM خوشه های اتمی تشکیل یافته و همچنین شکب تجمع آن بررسی گردید.
کلیدواژه ها:
نویسندگان