فرید ستوده - استادیار دانشکده مهندسی برق و کامپیوتر دانشگاه صنعتی اراک
رضوان عزیزمحمدی - دانشجوی کارشناسی ارشد برق الکترونیک دانشگاه آزاد اسلامی واحد اراک
محمدباقر توکلی - استاد یار گروه مهندسی برق دانشکده فنی و مهندسی دانشگاه آزاد اسلامی واحد اراک

هدف اصلی این مقاله تحقق یک فیلتر میانگذر است. بدین ترتیب این فیلتر از یک میکرورزوناتور تشکیل یافته که از طریقتحریک الکترواستاتیکی به نوسان در میآید. در طراحی میکرورزوناتورها باید به عواملی همچون ساختار میکرورزوناتور، محرک و موادمورد استفاده در آن توجه شود چونکه بیشترین تاثیر بر روی ضریب کیفیت و توان مصرفی و فرکانس کاری دارند. تا بحال تحقیقاتگستردهای در مورد محرک میکرورزوناتورها انجام شده و محرکهای مختلفی مانند محرک الکترواستاتیک، پیزوالکتریک و... برایتحریک معرفی شده اند. با اینحال استفاده از محرک الکترواستاتیک در میکرورزوناتورها (با توجه به هزینه ساخت پایین، تلفات پایین وکنترل پذیری بالا) نسبت به سایر محرکها ارجحیت دارد. در این مقاله ابتدا به طراحی رزوناتور پرداخته شده و ساختارهای مختلفبررسی شده اند. ابتدا یک تحلیل مکانیکی با نرم افزار Comsol 3.5 روی میکرورزوناتور انجام شده تا میکرورزوناتور از لحاظ ابعادبهینه شود. ولتاژ بایاس اعمالی به میکرورزوناتور 1.1 ولت می باشد و زمان سوئیچینگ بدست آمده 120 میکروثانیه است. سپس بهطراحی خود فیلتر پرداخته شده است که یک فیلتر میانگذر با پهنای باند 80 مگاهرتز بدست آمد.

میکرورزوناتور، مدل سازی، سیستمهای میکروالکترومکانیکی، فیلتر