روشی نوین برای حذف اثر خودتحریکی و چسبیدگی RF MEMS های مبتنی بر تکنولوژی III-V و برطرف کردن شارژینگ خازن دی الکتریک
- سال انتشار: 1394
- محل انتشار: سومین همایش ملی فناوریهای نوین در صنایع برق و رباتیک
- کد COI اختصاصی: RDERI03_001
- زبان مقاله: فارسی
- تعداد مشاهده: 744
نویسندگان
دانشجوی کارشناسی ارشد الکترونیک، دانشگاه آزاد اسلامی واحد ساوه
چکیده
مقاله به شناخت پدیدهی خودتحریکی و چسبیدگی کلید RF MEMS مبتنی بر تکنولوژی III-V بهنگام اعمال امواج مختلف پرداخته است. این کلیدها دارای پد تحریک پذیر TaN و لایه ی تحریک 2TaO5 میباشند، که این مواد جایگزین مناسبی برای سیلیکون هستند، همچنین به شناخت خواص عناصر دیالکتریک و پد تحریک پرداخته شده است. این عملیات با اعمال امواج تک قطبی و دوقطبی در پریودهای متفاوت صورت پذیرفته است. سپس روشی پیشنهاد میکنیم که اثر خودتحریکی و چسبیدگی RF MEMS های مبتنی بر تکنولوژی III-V را حذف میکند. نتایج شبیهسازی بیانگر بهبود پارامترهای کلید و افزایش میزان اطمینان پذیری آن است.کلیدواژه ها
قابلیت اطمینان، خودتحریکی، چسبیدگی، تکنولوژی III-V ، کلید RF MEMSاطلاعات بیشتر در مورد COI
COI مخفف عبارت CIVILICA Object Identifier به معنی شناسه سیویلیکا برای اسناد است. COI کدی است که مطابق محل انتشار، به مقالات کنفرانسها و ژورنالهای داخل کشور به هنگام نمایه سازی بر روی پایگاه استنادی سیویلیکا اختصاص می یابد.
کد COI به مفهوم کد ملی اسناد نمایه شده در سیویلیکا است و کدی یکتا و ثابت است و به همین دلیل همواره قابلیت استناد و پیگیری دارد.