Thermal Analysis of Electrostatic Micro Actuator

  • سال انتشار: 1393
  • محل انتشار: فصلنامه بین المللی مهندسی مکاترونیک ، برق و کامپیوتر، دوره: 4، شماره: 10
  • کد COI اختصاصی: JR_IJMEC-4-10_004
  • زبان مقاله: انگلیسی
  • تعداد مشاهده: 466
دانلود فایل این مقاله

نویسندگان

Amer Abdallah

School of Mechanical Engineering, Faculty of Engineering, Sudan University of Sciences and Technology, Khartoum, Sudan.

Ali Ishag

School of Mechanical Engineering, Faculty of Engineering, Sudan University of Sciences and Technology, Khartoum, Sudan.

Salah El-Deen Osman

School of Mechanical Engineering, Faculty of Engineering, Sudan University of Sciences and Technology, Khartoum, Sudan.

Mohanad Yousif

School of Mechanical Engineering, Faculty of Engineering, Sudan University of Sciences and Technology, Khartoum, Sudan.

چکیده

Electrostatic actuators have major role in many MEMS devices, e.g. sensors, actuators, RF-MEMS. The amount of applied voltage to an electrostatic actuator has a direct impact on temperature distribution throughout the actuator, which affects the resonant frequency of the actuator. This paper aims to study the temperature distribution in a micro-cantilever at different applied voltages. Finite element method, ANSYS, was used as a simulation tool.

کلیدواژه ها

Micro cantilever, temperature, Electrostatic, Finite element

مقالات مرتبط جدید

اطلاعات بیشتر در مورد COI

COI مخفف عبارت CIVILICA Object Identifier به معنی شناسه سیویلیکا برای اسناد است. COI کدی است که مطابق محل انتشار، به مقالات کنفرانسها و ژورنالهای داخل کشور به هنگام نمایه سازی بر روی پایگاه استنادی سیویلیکا اختصاص می یابد.

کد COI به مفهوم کد ملی اسناد نمایه شده در سیویلیکا است و کدی یکتا و ثابت است و به همین دلیل همواره قابلیت استناد و پیگیری دارد.