طراحی و شبیه سازی سنسور فشار پیزومقاومتی میکرو الکترومکانیک
- سال انتشار: 1393
- محل انتشار: اولین کنفرانس ملی مهندسی برق دانشگاه آزاد اسلامی واحد لنگرود
- کد COI اختصاصی: ICEES01_101
- زبان مقاله: فارسی
- تعداد مشاهده: 1647
نویسندگان
دانشگاه آزاد اسلامی واحد تهران جنوب
دانشگاه آزاد اسلامی واحد تهران جنوب
دانشگاه آزاد اسلامی واحد تهران جنوب
چکیده
رشد فزاینده استفاده از سنسورها در عرصه های گوناگون و همچنین کاربردی کردن تکنولوژیهای جدید برای استفاده در صنعت ، دلیل برای ورود به این عرصه می باشد. از طرفی تکنولوژی میکرو الکترومکانیک با تلفیق المان های الکترونیکی و مکانیکی در ابعاد کوچک بر روی ویفرهای سیلیکونی ، امکان اندازه گیری دقیق با کارایی و قابلیت بالا را فراهم می نماید.در این تحقیق با استفاده از تکنولوژی میکرو الکترومکانیک یک سنسور طراحی و شبیه سازی می شود و اثر ساختار طراحی شده بر حساسیت سنسور فشار میکروالکترومکانیک با مبدل پیزو مقاومتی بررسی و با استفاده از معادلات حاکم، مقدار جابجایی و ولتاژ معادل محاسبه و در نهایت با استفاده از شبیه ساز و با بررسی تغییر وضعیت دیافراگم و رصد عملکردسنسور، راه کارهایی جهت افزایش حساسیت حسگر ارائه می شودکلیدواژه ها
پیزومقاومت، دیافراگم، سنسور، میکروالکترومکانیکمقالات مرتبط جدید
اطلاعات بیشتر در مورد COI
COI مخفف عبارت CIVILICA Object Identifier به معنی شناسه سیویلیکا برای اسناد است. COI کدی است که مطابق محل انتشار، به مقالات کنفرانسها و ژورنالهای داخل کشور به هنگام نمایه سازی بر روی پایگاه استنادی سیویلیکا اختصاص می یابد.
کد COI به مفهوم کد ملی اسناد نمایه شده در سیویلیکا است و کدی یکتا و ثابت است و به همین دلیل همواره قابلیت استناد و پیگیری دارد.