ساخت سنسور فشار مبتنی بر لایه نازک PZT
- سال انتشار: 1387
- محل انتشار: اولین کنفرانس پتروشیمی ایران
- کد COI اختصاصی: IPCONF01_262
- زبان مقاله: فارسی
- تعداد مشاهده: 3949
نویسندگان
استادیار بخش برق الکترونیک ، دانشگاه شیراز و مسئول پژوهشکده نانو فناو
استادیار بخش مواد، دانشگاه شیراز
کارشناسی ارشد بخش برق الکترونیک، دانشگاه شیراز
چکیده
لایه نازک ) Lead zirconate titanate {Pb(Zr,Ti)O3} ) PZT بطورگسترده ای در سنسورها و محرک ها مورد استفاده قرار م ی گ یرد . در این مقاله گزارش ی از ساخت سنسور فشار مبتن ی بر لا ی ه نازک PZT ارائه شده است . ای ن سنسور دارا ی دیافراگمی چند لا یه متشکل از لا یه ها ی SiO2/Ti/Pt/PZT/Au به اندازه 3mm×3mm م ی باشد که مراحل ساخت دیافراگم بطور مختصر در این مقاله نشان داده شده است . برای به ینه ساز ی مشخصات د ینامیکی سنسور و پارامترها ی ساختار ی آن و همچن ین برا ی بدست آوردن فرکانس ها ی رزونانس اصل ی د یافراگم از روش اجزا ی محدود و نرم افزار ANSYS استفاده شده است . فرکانس رزونانس اصل ی سنسور بدون اعمال فشار خارج ی 18,4 kHz بدست آمده است . ای ن سنسور در محدوده فشارهایی در حدود 20 mbar تا 140 mbar بصورت کاملا خط ی و با حساس یت بالا عمل م ی نما ید و با اعمال فشار خارج ی دارای شیفت فرکانسی116,25 Hz.mbar -1 می باشد . حساسیت نرمالیزه شده این سنسور نی ز −1 5010 ppm.mbar بدست آمده استکلیدواژه ها
لایه نازک PZT ، میکروسنسور، MEMS ، سل ژل، حل کردن شیمیائی تر، روش المان محدودمقالات مرتبط جدید
- سنتز نانو ماده اکسیدگرافن و بررسی تاثیر آن بر روی مقاومت شیمیایی رنگ آلکیدی
- پیش بینی نرخ های تولید چندفازی (نفت، گاز و آب) با استفاده از روش های یادگیری ماشین: مرور بر روش ها و کاربردها
- روشهای کنترل داده محور در مهندسی شیمی
- بررسی جداسازی گاز پروپیلن از پروپان در غشای ۶FDA-durene با استفاده از روش شبیه سازی مولکولی
اطلاعات بیشتر در مورد COI
COI مخفف عبارت CIVILICA Object Identifier به معنی شناسه سیویلیکا برای اسناد است. COI کدی است که مطابق محل انتشار، به مقالات کنفرانسها و ژورنالهای داخل کشور به هنگام نمایه سازی بر روی پایگاه استنادی سیویلیکا اختصاص می یابد.
کد COI به مفهوم کد ملی اسناد نمایه شده در سیویلیکا است و کدی یکتا و ثابت است و به همین دلیل همواره قابلیت استناد و پیگیری دارد.