A short review on the glancing angle deposition (GLAD) used for thin films as a new technique

  • سال انتشار: 1394
  • محل انتشار: ششمین کنگره بین المللی رنگ و پوشش
  • کد COI اختصاصی: ICCC06_016
  • زبان مقاله: انگلیسی
  • تعداد مشاهده: 1018
دانلود فایل این مقاله

نویسندگان

M.J. Olya

Materials Engineering Department, Faculty of Engineering, Semnan University, Iran, Semnan.

M. Azadi

Research &Development Department, Anita Coating Company, Iran, Tehran.

چکیده

Glancing angle deposition (GLAD) is a new technique of oblique angle deposition (OAD) which the substrate holders is may be mounted at a steep angle with respect to the vapor flux. The GLAD achieves geometric shadowing where incoming line of sight flux lands onto only higher parts of the developing film in order to enhance film roughness, porosity and thickness. This new technique has effects on the microstructure changes of thin films of ceramics, metals, polymers and composites. GLAD combines physical vapor deposition (PVD) with computer-controlled substrate motion to create engineered nanostructures thin films .Thus its application contains different industry such as in optical, mechanical and physical devises. Therefore in this paper; we reviewed papers around the GLAD methods about its basic, deposition parameter control, applications and recent results of researchers.

کلیدواژه ها

GLAD- Thin films- PVD- OAD- Columnar coatings

مقالات مرتبط جدید

اطلاعات بیشتر در مورد COI

COI مخفف عبارت CIVILICA Object Identifier به معنی شناسه سیویلیکا برای اسناد است. COI کدی است که مطابق محل انتشار، به مقالات کنفرانسها و ژورنالهای داخل کشور به هنگام نمایه سازی بر روی پایگاه استنادی سیویلیکا اختصاص می یابد.

کد COI به مفهوم کد ملی اسناد نمایه شده در سیویلیکا است و کدی یکتا و ثابت است و به همین دلیل همواره قابلیت استناد و پیگیری دارد.