اثر ناخالصی ها در افزایش حساسیت حسگرهای گازی اکسید ایندیوم تبخیر شده به گاز هیدروژن و مقایسه نتایج با نمونه های اکسید قلع تهیه شده به روش اسپری هیدرولیزیز
محل انتشار: سیزدهمین کنفرانس مهندسی برق ایران
سال انتشار: 1384
نوع سند: مقاله کنفرانسی
زبان: فارسی
مشاهده: 1,609
فایل این مقاله در 6 صفحه با فرمت PDF قابل دریافت می باشد
- صدور گواهی نمایه سازی
- من نویسنده این مقاله هستم
استخراج به نرم افزارهای پژوهشی:
شناسه ملی سند علمی:
ICEE13_014
تاریخ نمایه سازی: 27 آبان 1386
چکیده مقاله:
در این مقاله نتایج ساخت و تعیین ویژگی های حسگرهای گاز لایه نازک اکسید ایندیوم گزارش شده است . نمونه ها به روش تبخیر حرارتی بر روی زیرلایه شیشه ای تهیه شدند . اثر افزودن ناخالصی های Sb ، Se ، Ni ، Cr ، و Cd بر حساسیت این نمونه ها به ppm 2000گاز هیدروژن در فشار آتمسفر مورد مطالعه قرار گرفت . نتایج حاصله نشان داد که ناخالصی Ni بیشترین حساسیت را ایجاد می کن د . نمونه های اکسید ایندیوم تبخیری با نمونه های SnO2 که به روش اسپری هیدرولیزیز تهیه شد ه بود، مورد مقایسه قرار گرفتند . نتایج نشان داد که به طور کلی، لایه های تبخیری حساسیت بالاتری به گاز هیدروژن دارند . در حالی که لایه های اسپری شده رانش کمتر و پایداری بیشتری را در دراز مدت از خود نشان می دهند .
کلیدواژه ها:
نویسندگان
محمدباقر رحمانی
آزمایشگاه تحقیقاتی میکروالکترونیک، دانشگاه فردوسی مشهد
سیدحسین کشمیری
آزمایشگاه تحقیقاتی میکروالکترونیک، دانشگاه فردوسی مشهد
مراجع و منابع این مقاله:
لیست زیر مراجع و منابع استفاده شده در این مقاله را نمایش می دهد. این مراجع به صورت کاملا ماشینی و بر اساس هوش مصنوعی استخراج شده اند و لذا ممکن است دارای اشکالاتی باشند که به مرور زمان دقت استخراج این محتوا افزایش می یابد. مراجعی که مقالات مربوط به آنها در سیویلیکا نمایه شده و پیدا شده اند، به خود مقاله لینک شده اند :