بررسی اثر کاشت یون ازت بر روی لایه های کرم

  • سال انتشار: 1393
  • محل انتشار: اولین طرح تعاملی صنعت با دانشگاه: همایش سالانه پژوهش های کاربردی در علوم مهندسی و پایه
  • کد COI اختصاصی: AREBS01_041
  • زبان مقاله: فارسی
  • تعداد مشاهده: 566
دانلود فایل این مقاله

نویسندگان

زیبا دانش

مدرس دانشگاه فیزیک اتمی مولکولی

چکیده

در این مقاله اثر کاشت یونهای ازت بر روی لایه های نازک کرم تقریبا 600nm که به وسیله تفنگ پرتوی الکترونی بر روی سیلیکون کریستالی نشانده شده بررسی شده است. کاشت یونهای ازت درمحدوده دز at0/cm2 (فرمول در متن اصلی مقاله) و با انرزی 15 kev انجام شده است. برای بهبود خصوصیات سطحْ نمونه ها به مدت 24 ساعت در دمای (فرمول در متن اصلی مقاله) در شرایط خلا و در حضور گاز نئون بازپخت شده و برای پی بردن به یکنواختی سطح و نیز تغییرات آن در اثر کاشت یونهای ازت و نیز بازپختْ از SEM,AFM استفاده شده است

کلیدواژه ها

یون، ازت، کرم، پرتو الکترونی، سیلیکون

مقالات مرتبط جدید

اطلاعات بیشتر در مورد COI

COI مخفف عبارت CIVILICA Object Identifier به معنی شناسه سیویلیکا برای اسناد است. COI کدی است که مطابق محل انتشار، به مقالات کنفرانسها و ژورنالهای داخل کشور به هنگام نمایه سازی بر روی پایگاه استنادی سیویلیکا اختصاص می یابد.

کد COI به مفهوم کد ملی اسناد نمایه شده در سیویلیکا است و کدی یکتا و ثابت است و به همین دلیل همواره قابلیت استناد و پیگیری دارد.