ابوالفضل قناعت جهرمی - دانشجوی کارشناسی ارشد دانشگاه آزاد اسلامی واحد فسا فسا ایران
مجتبی صادقی - عضو هیئت علمی دانشگاه آزاد اسلامی واحد علوم و تحقیقات فارس شیراز ایران
زهرا عادل پور - عضو هیئت علمی دانشگاه آزاد اسلامی واحد علوم و تحقیقات فارس شیراز ایران

دراین مقاله یک مدل جفت شده ی دوبعدی الکتریکی ـ مکانیکی برای سوئیچ های میکروالکترومکانیک RF طراحی و ارایه خواهد شد بااستفاده ازمعادله یلاپلاس درمناطق همگن و قانون گاوس درگره های مرزی پاسخ های الکترواستاتیکی به دست می ایند براساس حل معادله مکانیکی مدل مکانیکی بدست می اید که حرکت پل سوئیچ را به صورت تحلیلی و یاعددی توصیف می کند بطور مکرر تعامل بین مدلهای الکترواستاتیکی و مکانیک یدرنظر گرفته خواهد شد شکل پل به عنوان تابعی ازولتاژ اعمالی وولتاژ پایین برمحاسبه شده است و لذا مشاهده میشود که باداده های اندازه گیری منتشر شده برای هندسه ی سوئیچ ها مشابه میباشد مدل ارایه شده انالیز های مکانیکی و الکتروستاتیکی راترکیب می کند و نتایج دقیقی دریک زمان کاملا کوتاه بدست میدهد الگوریتم توسعه یافته و برنامه ای ارایه شده قادر به تعیین تغییرشکل پل ولتاژ پایین بر است و میتواند بطور موثربه بررسی اثرنوسانات منبع برکارایی سوئیچ بپردازد

سیستم های الکترومکانیکی ، مدلهای دوبعدی سوئیچ های میکروالکترومکانیک RF