تاثیر ضخامت نانو پوشش ها بر روی خواص تشعشعی

پوشش با لایه های نازک نقش بسیار مهمی در صنایع نیم رساناها و تجهیزات میکروالکترومکانیک و نانو الکترومکانیک دارد. اطلاع از خواص تشعشعی ساختارهای چند لایه ای شامل سیلیکون و مواد مرتبط مانند دی اکسید سیلیکون، نیترید سیلیکون و طلا با پارامترهای متفاوت، جهت کاربردهای سیستم های کوچک ضروری است. پوشش دی اکسید سیلیکون و نیترید سیلیکون، ضد بازتاب عمل می کنند و منجر به کاهش ضریب بازتاب نسبت به زیر لایه سیلیکون می گردند. افزایش ضخامت پوشش منجر به کاهش ضریب بازتاب به سمت صفر می شود. با صفر شدن ضریب بازتاب، موج الکترومغناطیس عبور می کندو ضریب عبور به یک نزدیک می شود. با افزایش ضخامت پوشش های دی اکسید سیلیکون و نیترید سیلیکون، ضریب بازتاب کاهش می یابد و ضریب عبور افزایش می یابد. پوشش طلا که یک پوشش فلزی است،منجر به افزایش ضریب بازتاب می گردد و با افزایش ضخامت پوشش، ضریب بازتاب رشد می کند.

کلیدواژه ها:

لایه های نازک ، نیترید سیلیکون ، طلا ، دی اکسید سیلیکون