سنسورفشار خازنی با ساختار MEMS
- سال انتشار: 1393
- محل انتشار: دومین همایش ملی پژوهش های کاربردی در برق، مکانیک و مکاترونیک
- کد COI اختصاصی: ELEMECHCONF02_340
- زبان مقاله: فارسی
- تعداد مشاهده: 829
نویسندگان
دانشجوی کارشناسی ارشد دانشگاه آزاد یزد رشته الکترونیک
عضو هیئت علمی دانشگاه آزاد یزد گروه برق و الکترونیک
چکیده
اندازه گیری دقیق فاکتورهای فیزیکی مهم از قبیل فشار، فلو، نیرو، تنش، دما، گشتاور و ... در صنعت و زندگی روزمره بشر نقش بسیار حیاتی دارد و کاهش اندازه فیزیکی سنسورهای فعلی از ماکرو به میکرو می باشد، متخصصین در زمینه ها کاربردها و رشته های مختلف مانند فیزیک، شیمی، مکانیک و از همه موثرترمهندسین ابزار دقیق را برآن می دارد تابه طراحی و ساخت سنسورهای جدید الکترومکانیکی پرداخته و یا درصدد بهبود رنج اندازه گیری و یا افزایش دقت و حساسیت سنسورهای موجود بر آیند. در این مقاله طراحی یک سنسور MEMS خازنی برای تشخیص فشار با استفاده از COMSOL MULTIPHYSIC صورت گرفته است. پارامترهای طراحی MEMS با استفاده از تکنیک حل (FEM) (المان محدود) شبیه سازی و مدل شده است. مقدار خمش، تنش، و فرکانس تشدید با استفاده از روش حل Eigen Frequency محاسبه گردیده است. هدف، افزایش رنج اندازه گیری سنسورفشار می باشدکه با افزایش فشار وارده بر سنسور میزان فرکانس تشدید را با افزایش ضخامت دی الکتربک ها افزایش دادیم. فرکانس تشدید 21.3 مگاهرتز محاسبه شده است.کلیدواژه ها
جابجایی، خمش، سنسور فشار خازنی، سیستم های میکروالکترومکانیکی، فرکانس تشدیدمقالات مرتبط جدید
اطلاعات بیشتر در مورد COI
COI مخفف عبارت CIVILICA Object Identifier به معنی شناسه سیویلیکا برای اسناد است. COI کدی است که مطابق محل انتشار، به مقالات کنفرانسها و ژورنالهای داخل کشور به هنگام نمایه سازی بر روی پایگاه استنادی سیویلیکا اختصاص می یابد.
کد COI به مفهوم کد ملی اسناد نمایه شده در سیویلیکا است و کدی یکتا و ثابت است و به همین دلیل همواره قابلیت استناد و پیگیری دارد.