بررسی اثردما برسرعت رسوب گذاری وخواص پوشش TiN درفرایندCVD
- سال انتشار: 1376
- محل انتشار: اولین کنگره سالانه انجمن مهندسین متالورژی ایران
- کد COI اختصاصی: CIMS01_015
- زبان مقاله: فارسی
- تعداد مشاهده: 1546
نویسندگان
دانشکده فنی دانشگاه تهران سازمان پژوهشهای علمی و صنعتی ایران
دانشکده فنی دانشگاه تهران سازمان پژوهشهای علمی و صنعتی ایران
دانشکده فنی دانشگاه تهران سازمان پژوهشهای علمی و صنعتی ایران
دانشکده فنی دانشگاه تهران سازمان پژوهشهای علمی و صنعتی ایران
چکیده
دراین پژوهش نقش دما بررسوب گذاری TIN به روش CVD دریک راکتور افقی بررسی گردید نتایج بدست آمده نشان میدهد که با افزایش دما سرعت رسوب گذاری افزایش می یابد درمحدوده دمایی 960 تا 1130 درجه سانتیگراد سرعت انجام واکنش درسطح کنترل کننده سرعت رسوب گذاری است و انرژی اکتیواسیون لازم برای انجام واکنش حدود 96 کیلوژول برمول است نتایج بدست آمده همچنین نشان میدهد که با افزایش دمای زبری سطح و اندازه دانه رسوب TIN کاهش و سختی پوشش افزایش می یابدکلیدواژه ها
راکتور افقی ، CVD,TIN ، سرعت رسوب گذاری ، زبری سطح ، اندازه دانه ، سختیمقالات مرتبط جدید
- بررسی روند تغییرات ایزوتوپ های پایدار کربن سازند سروک مرتبط با OAF۲ در یکی از میادین نفتی دشت آبادان، جنوب غرب ایران
- تکامل دیاژنتیکی کرتاسه فوقانی توالی کربناته (سازند سروک) در دشت آبادان ، ایران: شواهدی از پتروگرافی، داده های ایزوتوپی عنصری، پایدار و استرانسیوم
- بررسی ارزیابی فنی واقتصادی معدن کرومیت علی اباد با استفاده از نرم افزار کامفار
- بررسی خردایش حاصل از انفجار با استفاده از الگوریتم ژنتیک (مطالعه موردی: معدن آهک کارخانه سیمان جوین)
- بهینه سازی الگوهای حفاری و انفجار با استفاده از روش های تجربی در معادن روباز مطالعه موردی: (معدن سنگ آهن توت الماس کویر حدید)
اطلاعات بیشتر در مورد COI
COI مخفف عبارت CIVILICA Object Identifier به معنی شناسه سیویلیکا برای اسناد است. COI کدی است که مطابق محل انتشار، به مقالات کنفرانسها و ژورنالهای داخل کشور به هنگام نمایه سازی بر روی پایگاه استنادی سیویلیکا اختصاص می یابد.
کد COI به مفهوم کد ملی اسناد نمایه شده در سیویلیکا است و کدی یکتا و ثابت است و به همین دلیل همواره قابلیت استناد و پیگیری دارد.