تاثیر فلز به عنوان لایه میانی در خواص بلوری لایه های نازک ITO

در یان تحقیق تاثیر لایه میانی فلزی روی خواص بلوری لایه های نازک ITO بررسی می شود. برای این منظور سه نوع نمونه تهیه شد. نمونه های تک لایه ITO به ضخامت 100 نانومتر، نمونه های ITO با یک لایه نقره به عنوان لایه میانی و نمونه های ITO با یک لایه میانی از جنس طلا ساختار نمونه هایی که دارای لایه میانی هستند به صورت ITO(40nm) / Metal (10nm) /ITO (50nm) می باشد. نمونه ها به روش تبخیر حرارتی واکنشی، روی بسترهای شیشه ای و در دمای اتاق تهیه شدند. سپس نمونه ها به مدت یک ساعت در سه دمای 300 و 420 و 540 درجه سانتگراد در اتمسفر هوا مورد باز پخت قرار گرفتند. برای بررسی خواص بلوری نمونه ها از دستگاه XRD استفاده شد. نهایتا با توجه به طیف های XRD بهبود در کیفیت لایه های ITO با لایه میانی نقره قابل ملاحظه بود.