لیتیوگرافی نانو جت فلش در ساخت سنسورهای موج صوتی در پهنای باند کریستال های فتونیکیMZI برای مدولاتور 10 گیگا بیت بر ثانیه براساس زیربنای سیلیسیم 100 میکرومتری

  • سال انتشار: 1393
  • محل انتشار: دومین همایش ملی فناوری های نوین در مهندسی برق و کامپیوتر
  • کد COI اختصاصی: IAUFASA02_039
  • زبان مقاله: فارسی
  • تعداد مشاهده: 836
دانلود فایل این مقاله

نویسندگان

حاتم محمدی کامروا

دانشگاه آزاد اسلامی واحد فسا،گروه مهندسی برق و الکترونیک،فسا،ایران

محمد احمدی پور

دانشجوی کارشناسی ارشد مهندسی برق-الکترونیک دانشگاه آزاد اسلامی واحد فسا

میثم کرمی زاده

دانشجوی کارشناسی ارشد مهندسی برق-الکترونیک دانشگاه آزاد اسلامی واحد فسا

چکیده

لیتیوگرافی منقوش نانو جت وفلشNIL برای ساخت سنسورهای موج صوتی سطحSAWبا موفقیت مورد استفاده قرار گرفت این سنسورهایSAWبرای سنجش از بیسیم غیرفعال پارامترهای فیزیکی به عنوان مثال دمای داخل توربین های موتر گاز استفاده میشود . این اولین فلز زمان فرایند برداشتن براساس جت وفلشNILاست در بستر مواد فیزیو الکتریک )لانتانیم گالیم سیلسکات(لانگاسیت تاسیس شده اند.فراوریNILسنسور دمایی لانگاسیتSAW با موفقیت در کاهش کریستال های مختلف وفلزکاری الکترودSAW با استفاده از پلاتین / تیتانیم ونیکل /تیتانیم آزمایش شده است.لانگاسیت مبتنی بر سنسورهایSAWبه صورت غیر فعال می تواند برای نظارت دمای بیسیم غیرفعال تا 059 درجه سانتی گراد مورد استفاده قرار گیرد . همچنین ما اولین بستر 10

کلیدواژه ها

سنسور ، بیسیم های غیرفعال ، لیتوگرافی ، سطح موج صوتی،موج بر های فوتونیک کریستال ،فوتونیک سیلیکونی،مدولاتور نوری

مقالات مرتبط جدید

اطلاعات بیشتر در مورد COI

COI مخفف عبارت CIVILICA Object Identifier به معنی شناسه سیویلیکا برای اسناد است. COI کدی است که مطابق محل انتشار، به مقالات کنفرانسها و ژورنالهای داخل کشور به هنگام نمایه سازی بر روی پایگاه استنادی سیویلیکا اختصاص می یابد.

کد COI به مفهوم کد ملی اسناد نمایه شده در سیویلیکا است و کدی یکتا و ثابت است و به همین دلیل همواره قابلیت استناد و پیگیری دارد.