بهینه سازی عملکرد یک آشکار ساز مادون قرمز حرارتی میکروبالومتر مبتنی بر MEMS

  • سال انتشار: 1392
  • محل انتشار: دومین کنفرانس ملی سیستم های مکانیکی و نوآوری های صنعتی
  • کد COI اختصاصی: CMSII02_118
  • زبان مقاله: فارسی
  • تعداد مشاهده: 664
دانلود فایل این مقاله

نویسندگان

نسیمه مرادی

دانشجوی کارشناسی ارشد دانشگاه آزاد اسلامی واحد علوم و تحقیقات اراک

احمد عقیقی

استادیار دانشگاه مالک اشتر

سید محمدمهدی نجفی زاده

دانشیار دانشگاه آزاد اسلامی واحد اراک

چکیده

این مقاله یک ساختار میکروبالومتر جدید با لایه سیلیکون با ناخالصی نوع n به عنوان عنصر فعال که در فرایند coms استاندارد بدست می آید را ارائه می دهد. نتایج مشخصه ها از تراشه های اسخته شده نشان می دهد که لایه n دارای ضریب دمای مقاومتی حدود 0/5% می باشد. با توجه به اینکه عملکرد میکروبالومتر وابسته به ابعاد ساخترا است در این مقاله با تغییر ابعاد شبیه سازی حرارتی به طور دقیق در نرم افزار ANSYS برای بدست آوردن ساختار بهینه سازی شده انجام شده است و نتایج این شبیه سازی و محاسبات باعث بدست آوردن ماکزیمم آشکارپذیری ویژه و پاسخدهی 3933/6v/w شده است این روش مقرون به صرفه و با عملکرد مناسب برای تولید آرایه های صفحه کانونی بزرگ برای تصویربرداری مادون قرمز دمای اتاق است.

کلیدواژه ها

اشعه مادون قرمز، میکروبالومتر، آشکارپذیری ویژه پاسخدهی

مقالات مرتبط جدید

اطلاعات بیشتر در مورد COI

COI مخفف عبارت CIVILICA Object Identifier به معنی شناسه سیویلیکا برای اسناد است. COI کدی است که مطابق محل انتشار، به مقالات کنفرانسها و ژورنالهای داخل کشور به هنگام نمایه سازی بر روی پایگاه استنادی سیویلیکا اختصاص می یابد.

کد COI به مفهوم کد ملی اسناد نمایه شده در سیویلیکا است و کدی یکتا و ثابت است و به همین دلیل همواره قابلیت استناد و پیگیری دارد.