مطالعه خواص ساختاری دوپ نیتروژن در تیتانیوم به روش رسوب بخار شیمیایی با فیلامان داغ (HFCVD)
- سال انتشار: 1393
- محل انتشار: کنفرانس علوم و فناوری نانو
- کد COI اختصاصی: NANOG01_019
- زبان مقاله: فارسی
- تعداد مشاهده: 939
نویسندگان
کارشناسی ارشد،فیزیک،دانشگاه آزاد اسلامی واحد تهران مرکز
استاد،فیزیک،مرکز تحقیقات فیزیک پلاسما دانشگاه آزاد اسلامی واحد علوم و تحقیقات
چکیده
در این تحقیق لایه های نازک تیتانیوم اکسی نیترید به روش رسوب بخار شیمیایی با فیلامان داغ (HFCVD) روی زیر لایه سیلیکون (400) p لایه گذاری شدند.نمونه ها در شرایط دمایی مختلف (T=400°c,T=500°c,T=700°c,T=800°c) قرار داده شدند. از آنالیز Four Point Probe، XRD و SDE برای تعیین ساختار بلوری، خواص الکتریکی و میزان دوپ عنصر نیتروژن واکسیژن استفاده شد.آنالیز XRD نشان دهنده فاز مکعبی با جهت ترجیحی (200) و (220) ومونو کلینیک با جهت (112-) با افزایش دمای زیر لایه می باشد. با افزایش دما مقاومت الکتریکی لایه های تیتانیوم اکسی نیترید با استفاده از آنالیز Four Point Probe از Ω/□ 25/32 به Ω/□ 0/0126 و بر طبق آنالیز SDE میزان دوپ عنصر نیتروژن از 5/8% به 3/42% و اکسیژن از 64/06 به 59/3 کاهش یافت.کلیدواژه ها
افزایش دما،تیتانیوم اکسی نیترید،دوپ، HFCVDمقالات مرتبط جدید
اطلاعات بیشتر در مورد COI
COI مخفف عبارت CIVILICA Object Identifier به معنی شناسه سیویلیکا برای اسناد است. COI کدی است که مطابق محل انتشار، به مقالات کنفرانسها و ژورنالهای داخل کشور به هنگام نمایه سازی بر روی پایگاه استنادی سیویلیکا اختصاص می یابد.
کد COI به مفهوم کد ملی اسناد نمایه شده در سیویلیکا است و کدی یکتا و ثابت است و به همین دلیل همواره قابلیت استناد و پیگیری دارد.