شبیه سازی حسگر فشار خازنی براساس تکنولوژی سیستم های میکروالکترومکانیکی

  • سال انتشار: 1393
  • محل انتشار: کنفرانس ملی علوم مهندسی، ایده های نو (۸)
  • کد COI اختصاصی: AIHE08_569
  • زبان مقاله: فارسی
  • تعداد مشاهده: 609
دانلود فایل این مقاله

نویسندگان

زینب بهزادی

دانشکده مهندسی دانشگاه آزاد اسلامی واحد تهران مرکزی

آرش میرعبدالله لواسانی

دانشکده مهندسی دانشگاه آزاد اسلامی واحد تهران مرکزی

احمد حسینی سیانکی

دانشکده مهندسی دانشگاه آزاد اسلامی واحد تهران مرکزی

چکیده

در این مقاله یک حسگر فشار با حساسیت بسیار بالا ارائه شده که در آن تکنیکی برای جبران سازی حرارتی پیشنهاد گردیده است. تکنیک پیشنهادی از یک راه حل هندسی برای جبران سازی خودکار اثر کاهش مدول یانگ براثر افزایش بهره خواهد برد که طی آن یک فنر نگهدارنده جرم، توسط یک فنر با طول و عرض بزرگتر به تکیه گاه متصل می شود. با توجه به اتصال فنر اصلی به فنر بزرگ، در اثر کششی که از اختلاف افزایش طول فنر بزرگ و فنر اصلی، در فنر اصلی ایجاد می شود سفتی این فنر افزایش خواهد یافت. این اثر می تواند کاهش ثابت فنر اصلی را در اثر وابستگی حرارتی مدول یانگ جبران کند. خطای فشار ناشی از تغییرات حرارت در ساختار جبران شده کمتر از 22Pa بوده که در مقایسه با کارهای پیشین بهبود قابل توجهی را از خود نشان می دهد. این حسگر مساحتی در حدود 0.03288mm2 را اشغال کرده و حساسیت آن 290ppm می باشد.

کلیدواژه ها

حسگر فشار خازنی، جبران سازی حرارتی، وابستگی حرارتی

مقالات مرتبط جدید

اطلاعات بیشتر در مورد COI

COI مخفف عبارت CIVILICA Object Identifier به معنی شناسه سیویلیکا برای اسناد است. COI کدی است که مطابق محل انتشار، به مقالات کنفرانسها و ژورنالهای داخل کشور به هنگام نمایه سازی بر روی پایگاه استنادی سیویلیکا اختصاص می یابد.

کد COI به مفهوم کد ملی اسناد نمایه شده در سیویلیکا است و کدی یکتا و ثابت است و به همین دلیل همواره قابلیت استناد و پیگیری دارد.