افزایش تغییرات بازه ظرفیت خازن با استفاده از تکنولوژی MEMS

  • سال انتشار: 1392
  • محل انتشار: اولین همایش ملی مهندسی برق ایران
  • کد COI اختصاصی: INCEE01_203
  • زبان مقاله: فارسی
  • تعداد مشاهده: 822
دانلود فایل این مقاله

نویسندگان

نسیم امانی

دانشگاه آزاد اسلامی واحد بوشهر، گروه برق و الکترونیک، بوشهر، ایران

بهرام عزیزاله گنجی

استادیار- دانشگاه فنی نوشیروانی بابل، ایران

چکیده

در این مقاله یک خازن میکروالکترومکانیکی (MEMS) شانه دار جدید با بازه تغییرات ظرفیت خازنی وسیع ارایه شده است. در این مقاله جهت رفع مشکل پولین از روش صفحه ی پله دار و جهت افزایش بازه تغییرات خازن از صفحات خازنی شانه دار استفاده شده است. ساختار خازنی جدید دارای غشایی از جنس پلی سیلیکون می باشد. ظرفیت خازن برای ساختارهای خازنی با صفحات صاف و صفحه ی پله دار و صفحات شانه ای شبیه سازی شده است و بازه ی تغییرات ظرفیت خازن در ساختار شانه ای نسبت به صفحه ی پله ای 78.9٪ افزایش یافته است.

کلیدواژه ها

میکروالکترومکانیکی، بازه تغییرات ظرفیت خازنی، شانه دار، صفحه پله دار، پدیده پولین

مقالات مرتبط جدید

اطلاعات بیشتر در مورد COI

COI مخفف عبارت CIVILICA Object Identifier به معنی شناسه سیویلیکا برای اسناد است. COI کدی است که مطابق محل انتشار، به مقالات کنفرانسها و ژورنالهای داخل کشور به هنگام نمایه سازی بر روی پایگاه استنادی سیویلیکا اختصاص می یابد.

کد COI به مفهوم کد ملی اسناد نمایه شده در سیویلیکا است و کدی یکتا و ثابت است و به همین دلیل همواره قابلیت استناد و پیگیری دارد.