توانایی روش RBS-Channeling جهت مطالعه اثر یون های ژرمانیوم کاشت شده در شبکه بلوری سیلیسیم
- سال انتشار: 1384
- محل انتشار: کنفرانس فیزیک ایران ۱۳۸۴
- کد COI اختصاصی: IPC84_069
- زبان مقاله: فارسی
- تعداد مشاهده: 1878
نویسندگان
بخش فیزیک هسته ای، مرکز تحقیقات هسته ای، سازمان انرژی اتمی ایران، تهر
بخش فیزیک هسته ای، مرکز تحقیقات هسته ای، سازمان انرژی اتمی ایران، تهر
بخش فیزیک هسته ای، مرکز تحقیقات هسته ای، سازمان انرژی اتمی ایران، تهر
بخش فیزیک هسته ای، مرکز تحقیقات هسته ای، سازمان انرژی اتمی ایران، تهر
چکیده
مطالعه ژرمانیوم کاشت شده با انرژی 100 keV و دز 1× 16 10 atoms/cm 2 در جهت (100) شبکه بلوری سیلیسیم و اثر کاشت ژرمانیوم بر شبکه مزبور در این مقاله بررسی شده است . آنالیز نمونه ها با استفاده از تکنیک RBS-Channeling نشان می دهد که اتم های ژرمانیوم کاشت شده درمکان شبکه ای اتم های سیلیسیم قرار نگرفته است . بررسی مکان ناخالصی ها در دو جهت کریستالی (100) و (110) انجام شده استکلیدواژه ها
مقالات مرتبط جدید
- Analytical determination of flexural rigidity of thin-walled pultruded composite I-beams
- Matrix-Dominated Damage Process in CFRP Composite Laminates underFlexural Loading Condition
- Indentation Size Scale Effect on Mechanical Properties of Cold SprayCoating
- Determination of Forming Limit Diagrams for Tailor Welded Blanks
- Control of dynamic building façade: design, analysis and experiments
اطلاعات بیشتر در مورد COI
COI مخفف عبارت CIVILICA Object Identifier به معنی شناسه سیویلیکا برای اسناد است. COI کدی است که مطابق محل انتشار، به مقالات کنفرانسها و ژورنالهای داخل کشور به هنگام نمایه سازی بر روی پایگاه استنادی سیویلیکا اختصاص می یابد.
کد COI به مفهوم کد ملی اسناد نمایه شده در سیویلیکا است و کدی یکتا و ثابت است و به همین دلیل همواره قابلیت استناد و پیگیری دارد.