توانایی روش RBS-Channeling جهت مطالعه اثر یون های ژرمانیوم کاشت شده در شبکه بلوری سیلیسیم

  • سال انتشار: 1384
  • محل انتشار: کنفرانس فیزیک ایران ۱۳۸۴
  • کد COI اختصاصی: IPC84_069
  • زبان مقاله: فارسی
  • تعداد مشاهده: 1878
دانلود فایل این مقاله

نویسندگان

داریوش فتحی

بخش فیزیک هسته ای، مرکز تحقیقات هسته ای، سازمان انرژی اتمی ایران، تهر

محمد لامعی رشتی

بخش فیزیک هسته ای، مرکز تحقیقات هسته ای، سازمان انرژی اتمی ایران، تهر

امیدرضا کاکوئی

بخش فیزیک هسته ای، مرکز تحقیقات هسته ای، سازمان انرژی اتمی ایران، تهر

داود آقاعلی گل

بخش فیزیک هسته ای، مرکز تحقیقات هسته ای، سازمان انرژی اتمی ایران، تهر

چکیده

مطالعه ژرمانیوم کاشت شده با انرژی 100 keV و دز 1× 16 10 atoms/cm 2 در جهت (100) شبکه بلوری سیلیسیم و اثر کاشت ژرمانیوم بر شبکه مزبور در این مقاله بررسی شده است . آنالیز نمونه ها با استفاده از تکنیک RBS-Channeling نشان می دهد که اتم های ژرمانیوم کاشت شده درمکان شبکه ای اتم های سیلیسیم قرار نگرفته است . بررسی مکان ناخالصی ها در دو جهت کریستالی (100) و (110) انجام شده است

کلیدواژه ها

مقالات مرتبط جدید

اطلاعات بیشتر در مورد COI

COI مخفف عبارت CIVILICA Object Identifier به معنی شناسه سیویلیکا برای اسناد است. COI کدی است که مطابق محل انتشار، به مقالات کنفرانسها و ژورنالهای داخل کشور به هنگام نمایه سازی بر روی پایگاه استنادی سیویلیکا اختصاص می یابد.

کد COI به مفهوم کد ملی اسناد نمایه شده در سیویلیکا است و کدی یکتا و ثابت است و به همین دلیل همواره قابلیت استناد و پیگیری دارد.