شبیه سازی توزیع ضخامت در انباشت فیلم های نازک MgF2 و بررسی عوامل مؤثر بر یکنواختی آن

  • سال انتشار: 1385
  • محل انتشار: هشتمین کنفرانس ماده چگال
  • کد COI اختصاصی: CMC08_116
  • زبان مقاله: فارسی
  • تعداد مشاهده: 1333
دانلود فایل این مقاله

نویسندگان

حمیدرضا فلاح

گروه فیزیک، دانشگاه اصفهان

مرتضی حاج محمودزاده

گروه فیزیک، دانشگاه اصفهان

حمیدرضا رهنما

شرکت صنایع اپتیک اصفهان

مهدی زادسر

گروه فیزیک، دانشگاه اصفهان

چکیده

بازده انباشت فیلم های نازک MgF2 بر روی بستره های شیشه ای یک سیگمنت کروی به کمک شبیه سازی کامپیوتری مورد مطالعه قرار گرفته است . انباشت لایه که به عنوان لایه های ضد بازتابی استفاده می شود، با عواملی چون آهنگ تبخیر، دمای بستره ها و شرایط هندسی حاکم بر سیستم لایه نشانی MgF2 های نازک بشدت تغییر می کند . در این کارابتدا فرآیند انباشت این لایه ها شبیه سازی شده، توزیع ضخامت محاسبه شده با نتایج تجربی، مقایسه گردیده و نهایتاً عوامل مؤثر بر یکنواختی ضخامت به کمک این شبیه سازی تعیین گردیده است

کلیدواژه ها

مقالات مرتبط جدید

اطلاعات بیشتر در مورد COI

COI مخفف عبارت CIVILICA Object Identifier به معنی شناسه سیویلیکا برای اسناد است. COI کدی است که مطابق محل انتشار، به مقالات کنفرانسها و ژورنالهای داخل کشور به هنگام نمایه سازی بر روی پایگاه استنادی سیویلیکا اختصاص می یابد.

کد COI به مفهوم کد ملی اسناد نمایه شده در سیویلیکا است و کدی یکتا و ثابت است و به همین دلیل همواره قابلیت استناد و پیگیری دارد.