اثرات پخت در خلاء بر خواص لایه های نازک و شفاف کندوپاش شده ITO

  • سال انتشار: 1385
  • محل انتشار: دومین کنفرانس ملی خلاء
  • کد COI اختصاصی: NCV02_015
  • زبان مقاله: فارسی
  • تعداد مشاهده: 2172
دانلود فایل این مقاله

نویسندگان

نگین معنوی زاده

آزمایشگاه تحقیقاتی لایه های نازک، گروه مهندسی برق وکامپیوتر، دانشک

ابراهیم اصل سلیمانی

آزمایشگاه تحقیقاتی لایه های نازک، گروه مهندسی برق وکامپیوتر، دانشک

هادی ملکی

پژوهشکده لیزر، سازمان انرژی اتمی ایران

رضا افضل زاه

گروه فیزیک، دانشگاه صنعتی خواجه نصیرالدین طوسی

چکیده

لایههای نازک اکسید ایندیم آلاییده به قلع (ITO) بر روی زیرلایههای شیشهای به شیوه کندوپاش RF با توان 280 وات و با استفاده از هدف سرامیکی ITO (%In2O3-SnO2 ،90-10 wt لایه نشانی شده، سپس عملیات پخت بعد از انجام لایه نشانی، در محیط خلاء انجام گرفته است . مقاومت الکتریکی، خواص اپتیکی و ساختار کریستالی این لایهها به ترتیب توسط آنالیزهای مقاومت چهار پروبی، طیف سنج UV/VIS/IR و XRD بررسی شده است . نتایج نشان میدهند که با افزایش دمای پخت در خلاء نسبت به پخت در شرایط مشابه اما در محیط اتمسفر، خواص کریستالی و مقاومت الکتریکی بهبود یافته و شفافیت مناسبی حاصل می گردد . مقاومت الکتریکی لایهها قبل از پختΩcm 19ضربدر ده به توان منفی 4 است که با افزایش دمای پخت در خلاء تا 500 °C به Ωcm ٧/٣×10به توان -5 کاهش مییابد

کلیدواژه ها

مقالات مرتبط جدید

اطلاعات بیشتر در مورد COI

COI مخفف عبارت CIVILICA Object Identifier به معنی شناسه سیویلیکا برای اسناد است. COI کدی است که مطابق محل انتشار، به مقالات کنفرانسها و ژورنالهای داخل کشور به هنگام نمایه سازی بر روی پایگاه استنادی سیویلیکا اختصاص می یابد.

کد COI به مفهوم کد ملی اسناد نمایه شده در سیویلیکا است و کدی یکتا و ثابت است و به همین دلیل همواره قابلیت استناد و پیگیری دارد.