Accurate Model of Capacitance for MEMS Sensors using Corrugated Diaphragm with Residual Stress
- سال انتشار: 1392
- محل انتشار: ماهنامه بین المللی مهندسی، دوره: 27، شماره: 1
- کد COI اختصاصی: JR_IJE-27-1_018
- زبان مقاله: انگلیسی
- تعداد مشاهده: 866
نویسندگان
Department of Electrical and Computer Engineering, Babol University of Technology, Babol, Iran
Department of Electrical and Computer Engineering, Babol University of Technology, Babol, Iran
چکیده
In this paper, we present a new model for calculating the capacitance of MEMS sensor with corrugated diaphragm. In this work, the effect of residual stress is considered on deflection of diaphragm andcapacitance of sensor. First, a new analytical analyzes have been carried out to derive mathematicexpression for central deflection of corrugated diaphragm and its relationship with residual stress. Then, the capacitance and sensitivity of sensor using corrugated diaphragm with residual stress are calculated under bias voltage and pressure. The analytical results are compared with simulation using aFinite Element Method (FEM). The results show that the new analytical model is very close with simulation results.کلیدواژه ها
Residual Stress,Capacitance,Corrugated Diaphragm,Sensor Sensitivityمقالات مرتبط جدید
- بررسی به کارگیری سیستم ذخیره سازی انرژی با استفاده از منابع انرژی تجدیدپذیر
- اقدامات لازم برای حفاظت از محیط زیست دریایی
- ارائه طرح مبتنی بر رایانش ابری جهت ارتقاء بهره وری صنایع خودروسازی (مطالعه موردی: مدیران خودرو)
- مروری بر تکنولوژی ماکرویو برای خردایش سنگ های کمیاب
- کاربرد و بکارگیری تکنولوژی های اینترنت اشیا ، یادگیری ماشین و پردازش تصویر در امنیت و کنترل خودرو
اطلاعات بیشتر در مورد COI
COI مخفف عبارت CIVILICA Object Identifier به معنی شناسه سیویلیکا برای اسناد است. COI کدی است که مطابق محل انتشار، به مقالات کنفرانسها و ژورنالهای داخل کشور به هنگام نمایه سازی بر روی پایگاه استنادی سیویلیکا اختصاص می یابد.
کد COI به مفهوم کد ملی اسناد نمایه شده در سیویلیکا است و کدی یکتا و ثابت است و به همین دلیل همواره قابلیت استناد و پیگیری دارد.