مدل سازی و شبیه سازی رفتاری شتاب سنج خازنی MEMS با استفاده از نرم افزار MATLAB/SIMULINK
- سال انتشار: 1392
- محل انتشار: همایش مهندسی برق و توسعه پایدار با محوریت دستاوردهای نوین در مهندسی برق
- کد COI اختصاصی: EOESD01_015
- زبان مقاله: فارسی
- تعداد مشاهده: 2279
نویسندگان
دانشجوی کارشناسی ارشد مهندسی برق - مخابرات دانشگاه بین المللی امام خمینی (ره)
دانشجوی کارشناسی ارشد مهندسی برق - الکترونیک دانشگاه صنعتی مالک اشتر تهران
دانشجیو کارشناسی ارشد مهندسی برق - الکترونیک دانشگاه صنعتی مالک اشتر تهران
چکیده
در این مقاله، یک شتاب سنج خازنی میکروالکترومکانیکی به صورت حلقه باز با شتاب ورودی قابل قبول ±4g مدل سازی و شبیه سازی شده است. از میان انواع مبدل ها و روش های حسگری موجود، از روش خازنی به دلیل سازگاری آن با تکنولوژی MEMS و مدارات مجتمع جهت پردازش سیگنال استفاده شد. مدلسازی این شتاب سنج در دو بخش مدل سازی وشبیه سازی قسمت مکانیکی و استخراج تغییرات ظرفیت خازنی و مدارات الکترونیکی انجام شده است. در طراحی مدارات الکترونیکی از یک تقویت کننده مد بار سوئیچ-خازنی برای رسیدن به بهره ی بالا و یک دمدولاتور حساس به فاز جهت تشخیص علامت شتاب وارده استفاده شد. اعتبار نتایج هر دو بخش مکانیکی و الکترونیکی شتاب سنج مدل شده به کمک نرم افزار MATLAB/SIMULINK در هر قسمت سنجیده شده و در نهایت مشخص گرید که مدل به دست آمده از دقت قابل قبولی در شتاب های تا ±4g و حساسیت 0.708 pF/g برخوردار می باشد.کلیدواژه ها
شتاب سنج، تکنولوژی MEMS، تقویت کننده مد بار، دمدولاتور حساس به فازمقالات مرتبط جدید
- کاشت یون در نیمه رساناها: تاریخچه، فرایند، اثرات، کاربردها، چالش ها
- تخمین نفوذ مس در نوارهای لبه ای با استفاده از شبکه های عصبی عمیق
- آینده ی تولید غذا با اینترنت اشیاء
- پیشرفتهای نوین در یکپارچه سازی فرآیند دوقطبی در فناوری های میکروالکترونیک
- آخرین پیشرفتها در فناوری کاشت یون در سیلیکون کاربید و گالیوم نیترید
اطلاعات بیشتر در مورد COI
COI مخفف عبارت CIVILICA Object Identifier به معنی شناسه سیویلیکا برای اسناد است. COI کدی است که مطابق محل انتشار، به مقالات کنفرانسها و ژورنالهای داخل کشور به هنگام نمایه سازی بر روی پایگاه استنادی سیویلیکا اختصاص می یابد.
کد COI به مفهوم کد ملی اسناد نمایه شده در سیویلیکا است و کدی یکتا و ثابت است و به همین دلیل همواره قابلیت استناد و پیگیری دارد.