مدل سازی و شبیه سازی رفتاری شتاب سنج خازنی MEMS با استفاده از نرم افزار MATLAB/SIMULINK

  • سال انتشار: 1392
  • محل انتشار: همایش مهندسی برق و توسعه پایدار با محوریت دستاوردهای نوین در مهندسی برق
  • کد COI اختصاصی: EOESD01_015
  • زبان مقاله: فارسی
  • تعداد مشاهده: 2227
دانلود فایل این مقاله

نویسندگان

عبدالمجید دیناروند

دانشجوی کارشناسی ارشد مهندسی برق - مخابرات دانشگاه بین المللی امام خمینی (ره)

نوید دیناروند

دانشجوی کارشناسی ارشد مهندسی برق - الکترونیک دانشگاه صنعتی مالک اشتر تهران

محمد خالقی

دانشجیو کارشناسی ارشد مهندسی برق - الکترونیک دانشگاه صنعتی مالک اشتر تهران

چکیده

در این مقاله، یک شتاب سنج خازنی میکروالکترومکانیکی به صورت حلقه باز با شتاب ورودی قابل قبول ±4g مدل سازی و شبیه سازی شده است. از میان انواع مبدل ها و روش های حسگری موجود، از روش خازنی به دلیل سازگاری آن با تکنولوژی MEMS و مدارات مجتمع جهت پردازش سیگنال استفاده شد. مدلسازی این شتاب سنج در دو بخش مدل سازی وشبیه سازی قسمت مکانیکی و استخراج تغییرات ظرفیت خازنی و مدارات الکترونیکی انجام شده است. در طراحی مدارات الکترونیکی از یک تقویت کننده مد بار سوئیچ-خازنی برای رسیدن به بهره ی بالا و یک دمدولاتور حساس به فاز جهت تشخیص علامت شتاب وارده استفاده شد. اعتبار نتایج هر دو بخش مکانیکی و الکترونیکی شتاب سنج مدل شده به کمک نرم افزار MATLAB/SIMULINK در هر قسمت سنجیده شده و در نهایت مشخص گرید که مدل به دست آمده از دقت قابل قبولی در شتاب های تا ±4g و حساسیت 0.708 pF/g برخوردار می باشد.

کلیدواژه ها

شتاب سنج، تکنولوژی MEMS، تقویت کننده مد بار، دمدولاتور حساس به فاز

مقالات مرتبط جدید

اطلاعات بیشتر در مورد COI

COI مخفف عبارت CIVILICA Object Identifier به معنی شناسه سیویلیکا برای اسناد است. COI کدی است که مطابق محل انتشار، به مقالات کنفرانسها و ژورنالهای داخل کشور به هنگام نمایه سازی بر روی پایگاه استنادی سیویلیکا اختصاص می یابد.

کد COI به مفهوم کد ملی اسناد نمایه شده در سیویلیکا است و کدی یکتا و ثابت است و به همین دلیل همواره قابلیت استناد و پیگیری دارد.