ساخت Cantilever میکروسکوپ نیروی اتمی Fabrication of AFM cantilever's

  • سال انتشار: 1392
  • محل انتشار: کنفرانس ملی مهندسی مکانیک ایران
  • کد COI اختصاصی: NCMII01_493
  • زبان مقاله: فارسی
  • تعداد مشاهده: 715
دانلود فایل این مقاله

نویسندگان

r hadi

Islamic Azad University Najafabad

چکیده

در این مقاله ، تکنولوژی ساخت Cantileverمیکروسکوپ نیروی اتمی به روش Self-Sharpening nano Silicon وپیزوالکتریک پایه ALN مورد بررسی قرار گرفته است . tip های نانو سیلیکون ، بوسیله تکنولوژی اچ تر ناهمسانگرد و مکانیزم خود تیز شو(Self Sharpening) با استفاده از ماسکهای مخصوص 3 و 5 وجهی تولید می گردند[1]

کلیدواژه ها

فتو رزیست ، BHF ، PZT ، AFM ،Cantilever

مقالات مرتبط جدید

اطلاعات بیشتر در مورد COI

COI مخفف عبارت CIVILICA Object Identifier به معنی شناسه سیویلیکا برای اسناد است. COI کدی است که مطابق محل انتشار، به مقالات کنفرانسها و ژورنالهای داخل کشور به هنگام نمایه سازی بر روی پایگاه استنادی سیویلیکا اختصاص می یابد.

کد COI به مفهوم کد ملی اسناد نمایه شده در سیویلیکا است و کدی یکتا و ثابت است و به همین دلیل همواره قابلیت استناد و پیگیری دارد.