بتون مشخصه‌های خروجی رزوناتور خازنی ممزی

  • سال انتشار: 1391
  • محل انتشار: اولین کنفرانس ملی مهندسی برق اصفهان
  • کد COI اختصاصی: ISFAHANELEC01_162
  • زبان مقاله: فارسی
  • تعداد مشاهده: 712
دانلود فایل این مقاله

نویسندگان

عقیل موسوی

دانشجوی کارشناسی ارشد دانشکده مهندسی برق و کامپیوتر دانشگاه صنعتی نوشیروانی بابل - مازندران

بهرام عزیزالله گنجی

استادیار دانشکده مهندسی برق و کامپیوتر دانشگاه صنعتی نه شیروانی بابل - مازندران

چکیده

روش‌های ساخت رزوناتور ممزی همساز با تکنولوژی ساخت CMOS می‌باشد و همراه با دیگر عناصر مدار الکتریکی در یک مدار مجتمع ساخته می‌شود. از مزایای رزوناتور ممزی خازنی ( الکترو استاتیک) مصرف توان بسیار کم، تغییرات ناچیز خروجی در شرایط محیطی و دمای مختلف، عدم حساسیت به نویز الکتریکی می‌باشد. مشخصه‌های خروجی رزوناتور میکروالکترو - مکانیکی MEMS نامه‌هایی از قبیل نوع تحریک، ساختار، ابعاد و مواد به‌کاررفته بستگی دارد. در این مقاله عملکرد رزوناتور میکروتیز خازنی (مدل الکترا استاتیک) تشریح شده است و تصویر پارامترهای مختلف نظری به کیفیت و فرکانس به روش تحلیلی و شبیه‌سازی نشان داد و مقایسه شده‌اند و ساختار جدید ارائه شده است. با استفاده از این نتایج می‌توان پارامترهای بهینه برای دست یافتن به ضریب کیفیت بالاتر در فرکانس مورد نظر را پیدا کرد.

کلیدواژه ها

میکروالکترومکانیک MEMS ، رزوناتور میکروتیر ، تکنولوژی ساخت CMOS ، زری کیفیت، فرکانس رزونانس

مقالات مرتبط جدید

اطلاعات بیشتر در مورد COI

COI مخفف عبارت CIVILICA Object Identifier به معنی شناسه سیویلیکا برای اسناد است. COI کدی است که مطابق محل انتشار، به مقالات کنفرانسها و ژورنالهای داخل کشور به هنگام نمایه سازی بر روی پایگاه استنادی سیویلیکا اختصاص می یابد.

کد COI به مفهوم کد ملی اسناد نمایه شده در سیویلیکا است و کدی یکتا و ثابت است و به همین دلیل همواره قابلیت استناد و پیگیری دارد.