میکروسکوپ الکترونی روبشی:اجزا،عملکرد و کالیبراسیون
- سال انتشار: 1403
- محل انتشار: نشریه مطالعات مهندسی پزشکی آپادانا، دوره: 1، شماره: 3
- کد COI اختصاصی: JR_ESMEA-1-3_004
- زبان مقاله: فارسی
- تعداد مشاهده: 23
نویسندگان
گروه مهندسی پزشکی، دانشکده فنی و مهندسی، موسسه آموزش عالی آپادانا، شیراز، ایران
گروه مهندسی پزشکی، دانشکده فنی و مهندسی، موسسه آموزش عالی آپادانا، شیراز، ایران
گروه مهندسی پزشکی، دانشکده فنی و مهندسی، موسسه آموزش عالی آپادانا، شیراز، ایران
چکیده
در میان تجهیزات تشخیص نمونه یکی از این تجهیزات میکروسکوپ الکترونی روبشی است.میکروسکوپ الکترونی روبشی قابلیت عکس برداری از سطوح با بزرگنمایی ۱۰تا۵۰۰۰۰۰برابر با قدرت تفکیکی کمتر از ۱ تا۲۰ نانومتر(بسته به نمونه) را دارد و از مناسب ترین وسایل در دسترس برای آزمایش و آنالیز مورفولوژی نانو ساختار ها و شناسایی ترکیبات شیمیایی است.میکروسکوپ الکترونی روبشی شامل اجزای زیر است:تفنگ الکترونی،لنزها،روزنه ها،سیستم روبش،محفظه نمونه،سیستم خلا و سیستم نمایش. مهمترین کاربرد میکروسکوپ الکترونی روبشی به شرح زیر است:سنجش اندازه ذره ها در نمونه،بررسی میزان خوردگی سطح ،بررسی آنالیز عنصری (همراه با دستگاه طیف سنجی پراش انرژی پرتو ایکس)،بررسی ریخت شناسی بخش های سازنده و تخلخل ها،براورد سطح شکست و ارزیابی علت شروع شکست،سنجش حضور فازهای مختلف در ساختار و بررسی سطح مقطع. این مقاله به مروری بر اجزا و عملکرد میکروسکوپ الکترونی روبشی می پردازد.واژگان کلیدی:میکروسکوپ الکترونی روبشی،طیف سنجی پراش انرژی پرتو ایکس ،تفنگ الکترونی،آنالیز مورفولوژی نانو ساختارها.کلیدواژه ها
میکروسکوپ، کالیبراسیون، تفنگ الکترونیکیاطلاعات بیشتر در مورد COI
COI مخفف عبارت CIVILICA Object Identifier به معنی شناسه سیویلیکا برای اسناد است. COI کدی است که مطابق محل انتشار، به مقالات کنفرانسها و ژورنالهای داخل کشور به هنگام نمایه سازی بر روی پایگاه استنادی سیویلیکا اختصاص می یابد.
کد COI به مفهوم کد ملی اسناد نمایه شده در سیویلیکا است و کدی یکتا و ثابت است و به همین دلیل همواره قابلیت استناد و پیگیری دارد.